Sputtersensor

Der INFICON Sputtersensor ist speziell für den Einsatz in Zerstäubungsverfahren konzipiert. Sensorgehäuse und Kühlrohre bestehen aus vergoldetem Beryllium-Kupfer und bieten maximale Kühlleistung in der Sputter-Umgebung. Ein in den Sensorkopf integrierter Magnet verhindert ein Überhitzen aufgrund von hochenergetischen freien Elektronen in Sputteranlagen, indem diese durch das externe Magnetfeld abgelenkt werden. Da der Kristallhalter rückseitig beladen wird, können die Kristalle schnell, einfach und ohne Entfernen des Sensorkopfes aus dem System ausgetauscht werden.

Merkmale

  • Sensorgehäuse und Kühlrohre aus vergoldetem Beryllium-Kupfer für maximale Kühlleistung
  • Magnet zur Ablenkung freier Elektronen aus dem Monitorkristall
  • Einfache Installation mit biegsamen Wasserschläuchen bietet Flexibilität bei der Sensorplatzierung
  • Kristalleinsatz durch rückseitige Beladung ermöglicht einfachen Kristallaustausch

Technische Daten

Typ Sputtering Sensor
Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser 105°C
Maximale isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss 400° C
Größe (max. Einbauraum) 1.36 in. OD x 0.69 in. high (3.45 cm x 1.75 cm)
Wasser, Luft und Koaxialkabellänge Standard 30 in. (76.2 cm)
Kristallaustausch Rear-loading
Befestigung Customer supplied
Installationsanforderungen  
Durchführung

2 pass water with coax connector

2¾ in. ConFlat® Flange – IPN 002-043

1 in. Bolt – IPN 002-042

 

Sonstige

1) Customer to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water tubes.

2) XIU or Oscillator designed to interface with the specific deposition controller.

Wasserdurchflussrate Minimum water flow 750 cc/min, 30° C max (Do not allow to freeze) Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. If the water tube passes through a cryoshroud, drain the tubes if the water flow is stopped for any reason.
Materialien  
Gehäuse und Halter Au plated Be-Cu
Federn, elektrische Kontakte Au plated Be-Cu
Wasserrohre Au plated Be-Cu, 0.125 in. (0.32 cm) O.D.
Stecker 304 Stainless steel
Isolatoren 99% Al2O3
Draht Teflon® insulated copper
Lötmittel Cadmium free silver and indium alloys
Kristall 0.550 in. (1.4 cm) Diameter
Magnet ALNICO 5 Alloy
Optionale Verschlussbaugruppe 750-005-G1 Spezifikationen:  
Temperatur 130° C
25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und Ultra-Torr-Endenabschlüsse (Klemmringverschraubung):  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatur Operational environment to 300ºC with water cooling or 165ºC without
Befestigung 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Geschweißte CF40-Endenabschlüsse:  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatur Operational environment to 450ºC with water cooling or 165ºC without
Befestigung Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.

Teilenummer

Sputtering Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-618-G1 Sputtersensor (nur Sensor, Durchführung nicht eingeschlossen)

Zubehör

Name Beschreibung
QCM-Sensordurchführungen QCM-Sensordurchführungen
Sputtering Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-005-G1 Pneumatische Verschlussbaugruppe für Sputtersensor (nur Verschlussbaugruppe, Sensor nicht eingeschlossen)
750-420-G1 Magnetventil, 24 V (zur Verwendung mit Verschluss- und Multikristallsensoren)

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

Sputtering Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
007-023 Keramikhalter
007-049 Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007 Haltefeder (für Kristallhalter)
007-047 Sputterkopfabdeckung mit Wasserleitungen
007-009 Magnet für Sputterkopfabdeckung
070-0440 Haltering (zur Installation auf der Welle der Verschlussbaugruppe)
070-0442 Haltering (zur Installation auf der Welle der Verschlussbaugruppe)
070-0441 Distanzstück (zur Installation auf der Welle der Verschlussbaugruppe)
082-044 Teflonschraube (für Blattfeder)
082-029-P1 2-56 x 1/8 Zoll Feststellschraube für 750-619-G1-Sputterkopfgehäuse
750-009-P2 Abdeckung für Drehzapfen (zur Installation auf der Welle der Verschlussbaugruppe)
750-046-G2 Verschlussbaugruppe für pneumatische Verschlussbaugruppe
750-048-P1 Haltefeder für 007-048 und 751-619-G1 Sputterkopfgehäuse
750-115-P4 Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe)
750-169-P4 Balgbaugruppe für pneumatische Verschlussbaugruppe
750-174-P2 Koaxialkabelbuchse
750-175-P1 Isolator (unter der Blattfeder)
750-188-P3 Blattfeder
008-007 Kristall-Greifer
750-619-G1 Sputterkopfabdeckung mit Stecker für Koaxialkabel
750-626-P1 Feder für Sputterkopfabdeckung
In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuo-Kabel, 15 cm
007-252 In-vacuo-Kabel, 30,5 cm (12 Zoll)
321-039-G11 In-vacuo-Kabel, 61 cm
007-044 In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll)
007-059 In-vacuo-Kabel, 91,4 cm (36 Zoll)
007-061 In-vacuo-Kabel, 121,9 cm (48 Zoll) - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G13 In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G14 In-vacuo-Kabel, 183 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G15 In-vacuo-Kabel, 3,5 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
321-039-G16 In-vacuo-Kabel, 4 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
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