Analytisches Massenspektrometer QMG 700


Einige Varianten des QMG 700 werden am 31. Januar 2018 abgekündigt

  • Massenbereiche 1024 AMU und 2048 AMU 
  • Massenbereiche 16 AMU und 340 AMU 
  • Ionenoptische Systeme 
  • QMG 725 System

Überwindung von Nachweisgrenzen durch unerreichte Stabilität und verbesserte Auflösung

 

Die rasante Weiterentwicklung der Halbleiterfertigung erfordert schnelle und zuverlässige Gasanalyselösungen. Ob in der Fertigung oder im Labor - das Analytische Massenspektrometer INFICON QMG 700 überwindet Nachweisgrenzen und treibt Ihren Prozess auf die nächste Entwicklungsstufe voran. Das QMG 700 bietet unerreichte Leistungsstärke und Anpassungsfähigkeit in einem modularen Design. Erhöhen Sie Ihren Wettbewerbsvorteil mit dem QMG 700 und erzielen Sie ein Höchstmaß an Messfähigkeit.

 

 

Wählen Sie aus einer breiten Palette an Ionenquellen, Massenfiltern und HF-Generatoren, um das QMG 700 Ihren spezifischen Anwendungen anzupassen. Das QMG 700 umfasst einen dynamischen Bereich über mehr als neun Messdekaden und Nachweisgrenzen im ppb-Bereich, was es zum idealen Gerät für Messungen im Ultrahochvakuum macht. Das QMG 700 bietet Einheitsauflösung über den gesamten Massenbereich und sogar noch höhere Auflösung bei niedrigen Massen. Das Gerät ist eine hervorragende Lösung für anspruchsvollste Messaufgaben, einschließlich Isotopenanalysen, z. B. bei der Trennung von Helium und Deuterium. Steuern Sie Ihren Prozess mit dem QMG 700 und vertrauen Sie auf seine langfristige Stabilität zum Schutz kritischer Messungen.

 

INFICONs mehr als 40-jährige Erfahrung und Kompetenz auf dem Gebiet der analytischen Massenspektrometrie garantiert, dass das QMG 700 die richtige Wahl für Ihre nächste Investition im Bereich der Gasanalyse ist. Für gleichbleibende Genauigkeit und präzise Ergebnisse können Sie sich auf das INFICON QMG 700 und unsere weltweite Anwendungserfahrung verlassen.

Merkmale

  • Massenbereichvarianten von 1-2048 AMU
  • Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
  • Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • Hohe Auflösung über den gesamten Massenbereich: Massen 1, 2 und 3 sind eindeutig trennbar im ppb-Bereich
  • Mehr als 10 unterschiedliche Ionenquellen/Ionenoptik-Kombinationen
  • Diskrete oder kontinuierliche Dynoden-Elektronenvervielfacher
  • Ionenzählvorverstärker zur Analyse von negativen und positiven Ionen und neutralen Teilchen erhältlich
  • E/A-Option: 8 Analogeingänge/-ausgänge und 32 Digitaleingänge/-ausgänge
  • Leistungsstarke Software mit flexibler und benutzerfreundlicher Oberfläche

Typische Anwendungen

  • Gasentladungs-Massenspektrometrie
  • Endpunktbestimmung
  • Überwachung des Abscheidungsmaterials
  • Sekundärionenmassenspektrometrie

Technische Daten

Typ QMA 400 QMA 410 QMA 430
Massenbereich 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
Sensorlänge 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
Stabdurchmesser 8 mm 16 mm 8 mm
Stabmaterial Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
Flansch DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
Detektortyp Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
Max. Betriebsdruck (FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
Max. Betriebsdruck (EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
Empfindlichkeit 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
Kleinster nachweisbarer Partialdruck 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
Auflösung (einstellbar) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
Partialdruckverhältnis < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
Max. Ausheiztemp. Sensor 150 °C 150 °C 150 °C
Max. Ausheiztemp. 400 °C 400 °C 400 °C
Max. Ausheiztemp. Elektronik 40 °C 40 °C 40 °C
Messgeschwindigkeit 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
Stromversorgung 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU, 1-1024 AMU, 1-2048 AMU.                        

 QMA 400-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 512 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.

 

(2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-16 AMU, 1-128 AMU, 1-340 AMU.

Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit

Cross-Beam-Ionenquelle.

Teilenummer

QMA 430
Teilenummer Produktbeschreibung
490-913 QMA 430 mit Gitter Ionenq.
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