PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Die Pirani-Standard-Messgeräte, PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON bedienen sich der fortschrittlichsten digitalen Technologie, welche am Markt erhältlich ist. Die robuste und unempfindliche Edelstahlsensorzelle und der kompakte Aufbau qualifizieren sie für die Verwendung in Halbleiterapplikationen, sowie für viele Standard-Vakuumanwendungen, wie etwa in Vorvakuumleitungen.

Die PSG500 / PSG502-S  Pirani-Standard-Messgeräte sind 100 % Direktersatz für die TTR 91 S / TTR96 S Serie:

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
350-060PSG500DN 16 ISO-KF=230 035TTR 91DN 16 ISO-KF
350-061PSG5001/8" NPT=230 038TTR 911/8" NPT
350-062PSG500DN 16 CF-R=230 036TTR 91DN 16 CF-R
350-068PSG500DN 16 CF-R, long=230 037TTR 91DN 16 CF-R, long
350-080PSG500-SDN 16 ISO-KF=230 040TTR 91 SDN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S1/8" NPT=230 043TTR 91 S1/8" NPT
350-088PSG500-SDN 16 CF-R, long=230 042TTR 91 SDN 16 CF-R, long
350-140PSG502-SDN 16 ISO-KF=230 045TTR 96 SDN 16 ISO-KF
350-148PSG502-SDN 16 CF-R, long=230 047TTR 96 SDN 16 CF-R, long
350-920PSG500Ersatz-Sensor DN 16 KF=230 050TTR 91Ersatz-Sensor DN16KF
350-921PSG500Ersatz-Sensor 1/8" NPT=230 053TTR 91Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500Ersatz-Sensor DN 16 CF-R=230 051TTR 91Ersatz-Sensor DN16CF
350-928PSG500Ersatz-Sensor DN 16 CF-R, long =230 052TTR 91Ersatz-SensorDN 16 CF-R, long
350-900PSG502Ersatz-Sensor DN 16 KF=230 055TTR 96 S Ersatz-Sensor DN16KF
350-901PSG502Ersatz-Sensor 1/8" NPT=230 058TTR 96 S Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502Ersatz-Sensor DN 16 CF-R=230 056TTR 96 S Ersatz-Sensor DN16CF

 

Alle bekannten TTR 91 und TTR 96 Ersatz-Sensorköpfe können durch INFICON PSG500 und PSG502 Ersatz-Sensorköpfe ausgetauscht werden. Diese sind 100 % kompatibel und damit einfach austauschbar.

Vorteile

  • 1:1 kompatibel zur TTR 91 und TTR 96 Pirani Transmitter Serie
  • Taster für ATM- und HV-Abgleich
  • Platzparendes und robustes Design
  • Aluminiumgehäuse
  • Freie Einbaulage
  • Messkammer aus Edelstahl mit metallgedichteter Durchführung
  • Logarithmisches Ausgangssignal für einfache Systemintegration
  • 10 bar (abs.) Überdruck bei Schraubverbindungen
  • 250 °C ausheizbare Version
  • Optional mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
  • Keramikdurchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510& PSG512)
  • Optionale Schaltpunkte
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Überwachung von Hochvakuum-Ionisiations-Messgeräten
  • Vorvakuum-Drucküberwachung
  • Sicherheitskreise in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuummessung und Drucküberwachung im Fein- und Grobvakuumbereich

Nachrichten

PSG500 / PSG502 Transmitter Serie ist kompatibel mit den Vakuum Transmittern der TTR 91/ TTR 96 Serie
  • tiba29e1 Massbild.gif

Technische Daten

Typ PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints
Messprinzip thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
Genauigkeit (N2)      
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
100 … 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
Wiederholbarkeit (Luft)      
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading 2% 2% 2%
Ausgangssignal (Messsignal)      
Spannungsbereich V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
Messbereich V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
Messbereich (Luft, 02, CO, N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
Schaltpunkt      
Anzahl Schaltpunkte none 2 2
Einstellungsbereich mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
Hysterese % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold
Relaiskontakt 30 30
Relaiskontakt: Schaltzeit ms <20 <20
Versorgungsspannung      
An der Messröhre V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
Ripple V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1
Spannung vs. Druck logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
Inneres Volumen      
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF& DN 16 CF-R langes Rohr cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8'' NPT , 4 VCR, 8 VCR, 1/2''-Rohr cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
Zulässige Temperatur      
Betrieb °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
Vakuumanschluss (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
Lagerung °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
Gewicht      
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF g 80 80 80
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100
1/8'' NPT, 1/2''-Rohr g 70 70 70
8 VCR, DN 16 ISO-KF langes Rohr g 130 130 130
DN 16 CF-R langes Rohr g 140 140 140
Fehlersignal V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
Ausgangsimpedanz 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
Minimale Lastimpedanz kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
Ansprechzeit ms 80 80 80
Identifikation Messröhre kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
Einstellung one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
Stromaufnahme mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
Leistungsaufnahme W ≤1 ≤1 ≤1
Elektrischer Anschluss FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
Sensorkabel 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
Kabellänge m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Heizfaden W W Ni
Zulässiger Druck bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
Einbaulage any any any
Schutzart IP40 IP40 IP40

(1) Bei horizontaler Befestigung

(2) Langes Rohr

Teilenummer

PSG500 tungsten
Teilenummer Produktbeschreibung
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
350-920 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-920 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
350-900 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-901 PSG502 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R

Zubehör

PSG500 tungsten
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF

Datenblätter

Broschüren

Handbücher

3D-STEP-Dateien

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