PSG5xx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

 

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

  • Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
  • Platzsparendes, robustes Design
  • Aluminiumgehäuse
  • Montage in beliebiger Position
  • Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
  • Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
  • 10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
  • Bei 250 °C ausheizbare Version
  • Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
  • Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
  • Optionale Sollwerte
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
  • Vorvakuum-Drucküberwachung
  • Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich
  • tiba29e1 Massbild.gif

Technische Daten

Typ PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Messprinzip thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
Genauigkeit (N2)          
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 … 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
Wiederholbarkeit (Luft)          
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
Ausgangssignal (Messsignal)          
Spannungsbereich V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
Messbereich V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
Messbereich (Luft, 02, CO, N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
Schaltpunkt          
Anzahl Schaltpunkte none 2 2 2 2
Einstellungsbereich mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
Hysterese % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
Relaiskontakt 30 30 30 30
Relaiskontakt: Schaltzeit ms <20 <20 <20 <20
Versorgungsspannung          
An der Messröhre V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
Ripple V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Spannung vs. Druck logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
Inneres Volumen          
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF& DN 16 CF-R langes Rohr cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8'' NPT , 4 VCR, 8 VCR, 1/2''-Rohr cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
Zulässige Temperatur          
Betrieb °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
Vakuumanschluss (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
Lagerung °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
Gewicht          
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8'' NPT, 1/2''-Rohr g 70 70 70 70 70
8 VCR, DN 16 ISO-KF langes Rohr g 130 130 130 130 130
DN 16 CF-R langes Rohr g 140 140 140 140 140
Fehlersignal V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
Ausgangsimpedanz 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
Minimale Lastimpedanz kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
Ansprechzeit ms 80 80 80 80 80
Identifikation Messröhre kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
Einstellung one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
Stromaufnahme mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
Leistungsaufnahme W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Elektrischer Anschluss FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
Sensorkabel 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
Kabellänge m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Heizfaden W W Ni W Ni
Zulässiger Druck bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
Einbaulage any any any any any
Schutzart IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

(1) Bei horizontaler Befestigung

(2) Langes Rohr

Teilenummer

PSG500 tungsten
Teilenummer Produktbeschreibung
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2")
350-065 PSG500 4-VCR (1/4")
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
PSG500-S tungsten, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG502-S nickel, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

Zubehör

PSG500 tungsten
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
211-001 Spannring DN 10-16 ISO-KF

Ersatzteile

PSG500 tungsten
Teilenummer Produktbeschreibung
350-920 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Ersatz-Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Ersatz-Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Ersatz-Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Ersatz-Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-920 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Ersatz-Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Ersatz-Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Ersatz-Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Ersatz-Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
Teilenummer Produktbeschreibung
350-900 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 KF
350-901 PSG502 Ersatz-Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R
350-903 PSG502 Ersatz-Sensor 1/2" Tube
350-904 PSG502 Ersatz-Sensor 8-VCR (1/2")
350-905 PSG502 Ersatz-Sensor 7/16-20 UNF
350-906 PSG502 Ersatz-Sensor 4-VCR (1/4")
350-907 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908 PSG502 Ersatz-Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
350-930 PSG510 Ersatz-Sensor DN 16 KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
350-940 PSG512 Ersatz-Sensor DN 16 KF
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