PEG100-Messgerät für den mittleren bis ultrahohen Vakuumbereich

 

Das INFICON Penning-Messgerät PEG050 ermöglicht zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kaltkathodensensor enthält kein Filament, das durchbrennen könnte. Aufgrund der Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Zerstäubungsanwendungen eingesetzt werden. Die Feldbusoptionen ermöglichen zusammen mit dem logarithmischen analogen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mithilfe von Profibus DP- oder DeviceNet-Protokollen.

Vorteile

  • Großer Messbereich von 1 x 10-9 bis 1 x 10-2 mbar (7,5 x 10-10 bis 7,5 x 10-3 Torr)
  • Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
  • Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
  • Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst beim Kathodensputterbetrieb mit Argon
  • Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
  • Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
  • LED-Anzeige für Stromversorgung und Plasmazündung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal
  • Feldbusschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mittels Netzwerkkommunikation

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Verdampfungs- und Sputtersysteme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich
  • PEG100 Penning Gauge

Technische Daten

Typ PEG100
Messbereich 1 x 10-9 to 1 x 10-2
Genauigkeit  
10-8 bis 10-4 mbar % of reading ±30
Druck, max. (absolut) bar 10
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C +10 to +50
Lagerung °C -20 to +75
Ausheizen ohne Elektronik °C 350
Ausheizen mit Elektronik, am Flansch °C 70
Speisung  
Spannung V (dc) 14.5 to 36
Aufnahme, max. W <2
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 to 10.6
Messbereich V 0.66 to 10
Beziehung Spannung / Druck volts per decade 1.333
Anschluss FCC 68, female, 8 pin (shielded)
Kabellänge, max (analog) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
Inneres Volumen cm³ (in.³) 21 (1.28)
Gewicht, ca. g 500
Schutztyp IP40
DeviceNet™  
Gerätetyp generic
Explizites Peer-to-Peer Messaging no
I/O Peer-to-Peer Messaging no
Konfiguration des Konsistenzwertes no
Wiederherstellung eines defekten Knotens no
Übertragungsraten kBaud 125 / 250 / 500
Master/Scanner no
I/0 Slave Messaging: Bit Strobe yes
I/0 Slave Messaging: Polling yes
I/0 Slave Messaging: Cyclic yes
I/0 Slave Messaging: Change of state (COS) yes
Versorgung für DeviceNet™ V (dc) 11 to 25
Anschluss DeviceNet™ Phoenix Combicon, 5 pin

Teilenummer

PEG100
Teilenummer Produktbeschreibung
351-000 PEG100 DN 25 ISO-KF
351-002 PEG100 DN 40 CF-F
351-003 PEG100-D DNet, DN 25 ISO-KF
351-004 PEG100-D DNet, DN 40 CF-F
351-490 Ersatz-Katodenblech (5 Stück)
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