PEG100-Messgerät für den mittleren bis ultrahohen Vakuumbereich

Das INFICON Penning-Messgerät PEG100 steht für zuverlässige Hochvakuummessung. Der widerstandsfähige Penning-Kaltkathodensensor hat keinen Heizfaden, welcher ausbrennen kann. Aufgrund seiner Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmaentzündung kann das Messgerät auch in Sputter-Applikationen eingesetzt werden. Die vorhandenen Feldbusoptionen erlauben zusammen mit dem analogen logarithmischen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mittels Profibus DP- oder DeviceNet Protokollen.

 

Die Penning Messgeräte der PEG100 Serie ist Direktersatz für die  Penning Transmitter der PTR 225 / PTR 225 S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D Serie:

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
351-000PEG100DN 25 ISO-KF=157 34PTR 225DN 25 KF
351-001PEG100-SDN 25 ISO-KF, SP=164 34PTR225 SDN 25 KF, SP
351-002PEG100DN 40 CF-R=157 36PTR 237DN 40 CF-R
351-005PEG100-PDN 25 ISO-KF, PB=896 41PTR 225 PBDN 25 KF, PB 
351-004PEG100-DDN 40 CF-R, DevNet=896 42PTR 237 DDN 40 CF-R, DevNet
351-490PEG100Ersatzkathodenplatten (5 pcs)=16291PTRErsatz-Kathodenplatten (5 pcs)

 

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Unsere neuen Gemini MxG50x Kaltkathoden, welche die fortschrittlichste am Markt erhältliche Kaltkathoden-Technologie repräsentieren, sind in der Lage eine kompatible Alternative für die bestehende PTR 225 / PTR 237 / PTR 90 Serie zu bieten (vorerst nur für die analogen Varianten) 

 

http://products.inficon.com/de-de/nav-products/Product/Detail/MxG500_copy_of_MPG50x?path=Products%2FLeybold%20compatible%20products

Vorteile

  • Direktersatz für PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D Vakuum Transmitter
  • Weiter Messbereich von 1 x 10-9 bis zu 1 x 10-2 mbar (7.5 x 10-10 bis zu 7,5 x 10-3 Torr)
  • Ganzmetall-Kaltkathodensensor (Penning) mit Keramikdurchführung
  • Innovative Elektrodengeometrie für hervorragende Zündeigenschaften
  • Reduzierte Hochspannung nach Plasmaentzündung und Titaniumkatodenplatten verringern das Risiko der Kontaminierung selbst während des Sputter-Betriebs mit Argon.
  • Der Anodenring und Titankathode leicht zu reinigen und austauschbar.
  • Geringe Magnetfeldintensität zu angrenzenden Messgeräten
  • LED-Anzeige `Strom an` und `Plasma gezündet`
  • Analoges logarithmisches Ausgangssignal
  • Feldbussschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Bedampfungs- und Sputter-Systeme
  • Allgemeine Vakuum-Druckmessung und -Überwachung im Fein- und Hochvakuumbereich

Nachrichten

PEG100, PEG100-S, PEG100-D und PEG100-P Series ist ein Direktersatz für die PTR 225 / PTR 225-S / PTR 237 / PTR 225 PB / PTR 237 D Vakuum Transmitter
  • PEG100 Penning Gauge

Technische Daten

Typ PEG100
Messbereich 1 x 10-9 to 1 x 10-2
Genauigkeit  
10-8 bis 10-4 mbar % of reading ±30
Druck, max. (absolut) bar 10
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C +10 to +50
Lagerung °C -20 to +75
Ausheizen ohne Elektronik °C 350
Ausheizen mit Elektronik, am Flansch °C 70
Speisung  
Spannung V (dc) 14.5 to 36
Aufnahme, max. W <2
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 to 10.6
Messbereich V 0.66 to 10
Beziehung Spannung / Druck volts per decade 1.333
Anschluss FCC 68, female, 8 pin (shielded)
Kabellänge, max (analog) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
Inneres Volumen cm³ (in.³) 21 (1.28)
Gewicht, ca. g 500
Schutztyp IP40
DeviceNet™  
Gerätetyp generic
Explizites Peer-to-Peer Messaging no
I/O Peer-to-Peer Messaging no
Konfiguration des Konsistenzwertes no
Wiederherstellung eines defekten Knotens no
Übertragungsraten kBaud 125 / 250 / 500
Master/Scanner no
I/0 Slave Messaging: Bit Strobe yes
I/0 Slave Messaging: Polling yes
I/0 Slave Messaging: Cyclic yes
I/0 Slave Messaging: Change of state (COS) yes
Versorgung für DeviceNet™ V (dc) 11 to 25
Anschluss DeviceNet™ Phoenix Combicon, 5 pin

Teilenummer

PEG100
Teilenummer Produktbeschreibung
351-000 PEG100 DN 25 ISO-KF
351-000 PEG100 DN 25 ISO-KF
351-002 PEG100 DN 40 CF-F
351-003 PEG100-D DNet, DN 25 ISO-KF
351-004 PEG100-D DNet, DN 40 CF-F
399-510 PEG050 Penning-Messgerät DN25KF
351-490 Ersatz-Katodenblech (5 Stück)
351-499 Anode PR 25
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