Gemini™-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini von INFICON ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen. Gemini vereinigt zwei Sensorsysteme (MPG50x) zu einem kompakten Gerät für die Messung im Bereich von Atmophäre bis 1x10 – 9 mbar. Das patentierte Design zur Reduktion des magnetischen Streufeldes eröffnet neue Einsatzbereiche in kritischen Vakuum-Applikationen. Der einzigartige austauschbare 2-Kammer-Sensor macht eine regelmässige Reinigung überflüssig und reduziert dadurch die Wartung des Gerätes. Gemini wird dadruch zum robustesten und wirtschaftlichsten Vakuum-Messgerät seiner Art.

Die Gemini Kaltkathode und seine Pirani-Kaltkathoden Kombi-Variante (MPG50x) ist ein aktives Messgerät mit integrierter digitaler Elektronikeinheit zur ultimativen hochflexiblen Systemintegration. Die Kaltkathoden-Pirani Kombivariante (MPG50x) sorgt für nahtlose Mess-Übergänge, Zuverlässigkeit und Flexibilität in Applikationen mit erweitertem Vakuumdruckbereich.

 

Die MPG500 Serie repräsentiert den neuesten Stand der Kaltkathoden-Technology und ist hervorragend geeignet als Direktersatz für die Kaltkathoden- oder Penning- Transmitter der PTR 90 / PTR 225 (analoge Versionen) .

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
3MB0-006-000PMPG500SS, HC, FCC, 25 KF=230070PTR 90DN 25 KF
3MB0-007-000PMPG500SS, HC, FCC, 40 KF=230071PTR 90DN 40 KF
3MB0-00Q-000PMPG500SS, HC, FCC, 40 CF-F=230072PTR 90DN 40 CF
3MA0-007-000QMAG500SS, HC, FCC, 40 KF=15734PTR 225DN 25 KF

Vorteile

  • Geeignet als Direktersatz für die Kaltkathoden- oder Penning- Transmitter der PTR 90 / PTR 225 (analog Versionen)
  • Lange Lebensdauer in schwierigen Vakuumprozessen

  • Kein magnetisches Streufeld
  • Schnelle & leichte Wartung (wenn notwendig)
  • Extrem kompakte Grösse
  • Zuverlässig schnelle Zündung
  • Korrosionsfeste Vakuumdurchfühung
  • Auswählbarer Messstrom

Typische Anwendungen

  • Steuerung und Überwachung des Basisdruckes von Atmospäre bis Hoch-Vakuum in Bedampfungs- und Beschichtungsapplikationen.
  • Generelle Vakuumanwendungen - industrielle Öfen, Architekturglasherstellung, Halbleiterindustrie, Kühl- und Klimanlagenherstellung.
  • Analytik und R&D Applikationen - Massenspektrometrie, Elektronenmikroskope, Ophthalmik und Hochenergiephysik.

Nachrichten

MPG500 ist Direktersatz für PTR 90 / PTR 225 (analoge Versionen).

NEUE Generation der bewährten Kaltkathoden/ Kaltkathoden-Pirani Kombinationsmessgeräte kann ab sofort bestellt werden !

  • MxG50x dimensions

Technische Daten

Typ MAG50x MPG50x
Messsystem Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
Messbereich (air, N2) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
Genauigkeit (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 30 30
1×10-2 … 100 mbar % of reading - 15
100 … 1000 mbar % of reading - 50
Wiederholbarkeit (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100 mbar % of reading - 5
Montagerichtung any any
Zulässiger Druck bar (absolute) 10 (limited to inert gases <50°C) 10 (limited to inert gases <50°C)
Zulässige Temperatur    
Betrieb (Umgebung) °C +5 ... +55 +5 ... +55
Ausheizen am Flansch (1) °C <150 <150
Lagerung °C -40 ... +70 -40 ... +70
Filament temperatur °C - 120
Rel. Luftfeuchtigkeit über 30Tage pro Jahr    
1×10-7 … 1×10-2 mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
Betriebsspannung    
Am Messgerät (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
Restwelligkeit V (p-p)

<1

<1

Leistungsaufnahme W <2 <2
Absicherung extern AT <1 <1
Spannungsbereich    
Messwert analog V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
Messbereich    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
Volt versus Druck    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
Fehlersignal    
Fehlersignal V

<+0.5

09.5 ... +10.5

Ausgangsimpedanz 2x10 2x10
Last-Impedanz kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

Sprungantwort    
p > 10-6 mbar ms

<10

<10

p = 10-8 mbar ms

~1

~1

Messgerät Identifikation kΩ 100 85
Status (Pin 6)    
nur Piranimodus V - 0 (low)
Kaltkathode gezündet V +15 ... +30 -
Kombinierter Pirani/ Kaltkathoden-modus 3) V - +15 ... +30 (high)
Elektrische Verbindung    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
Sensorkabel    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
Kabellänge    
50 m Kabel m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75 m Kabel m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100 m Kabel m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300 m Kabel m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
Betriebsspannung kV <3.3 <3.3
Hoher Betriebsstrom µA <500 <500
Niedriger Betriebsstrom µA <100 <100
Materialien, gasberührend    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
Internes Volumen cm³ 22.8 22.8
Gewicht    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Schutzgrad IP 40 IP 40
Normen    
CE Konformität

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

Wartung none none

1) Ohne Elektronikeinheit.

2) Die Minimalspannung der Spannungsversorgungseinheit ist ansteigend proportional zur Länge des Sensorkabels.

3) Kaltkathode gezündet.

Teilenummer

MAG50x
Teilenummer Produktbeschreibung
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-512 MAG500 Ersatzsensor, 40KF, SS
351-555 Ersatz Ionisationskammer SS
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
351-995 MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
MPG50x
Teilenummer Produktbeschreibung
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 Ersatzsensor, 25KF, SS
351-555 Ersatz Ionisationskammer SS
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
351-995 MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)

Zubehör

MAG50x
Teilenummer Produktbeschreibung
211-098 Zentrierring mit Feinfilter DN25KF
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
MPG50x
Teilenummer Produktbeschreibung
211-098 Zentrierring mit Feinfilter DN25KF
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
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