Gemini™ MxG5xx -Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Das invertierte Magnetron Vakuummessgerät Gemini™ von INFICON ist das neue Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen. Während Gemini MPG50x zwei Sensorsysteme zu einem kompakten Gerät für die Messung im Bereich von Atmophäre bis 1x10– 9 mbar vereinigt, ist Gemini™ MAG50x eine reine Kaltkatode (ohne Pirani), welche den Messbereich von 1x10-2 mbar bis runter zu 1x10 – 9 mbar abdeckt.

Das patentierte Design zur Reduktion des magnetischen Streufeldes eröffnet neue Einsatzbereiche in kritischen Vakuum-Applikationen. Der einzigartige austauschbare 2-Kammer-Sensor macht eine regelmässige Reinigung überflüssig und reduziert dadurch die Wartung des Gerätes. Gemini™ wird dadruch zum robustesten und wirtschaftlichsten Vakuum-Messgerät seiner Art.

Die Gemini™ Kaltkathode (MAG) und die Gemini™ Pirani-Kaltkathoden Kombi-Variante (MPG) sind aktive Messgeräte mit integrierter digitaler Elektronikeinheit zur ultimativen hochflexiblen Systemintegration. Die Kaltkathoden-Pirani Kombivariante (MPG) sorgt für nahtlose Messübergänge, Zuverlässigkeit und Flexibilität in Applikationen mit erweitertem Vakuumdruckbereich.

MAG und MPG Gemini™ sind nun auch mit EtherCAT Feldbus und integrierten Schaltpunkten erhältlich als MAG55x und MPG55x.

Für korrosive Applikationen empfehlen wir die Keramik beschichtete Version MxG5x4. Bei dieser sind Durchführung und Pirani-Element im Sensorkopf, zur Erlangung einer verbesserten Korrosionsbeständigkeit, vollständig Keramik beschichtet.

Die Gemini™ Kaltkatoden und Kombinationssensoren kommen mit vollintegrierter digitaler Elektronik und bieten so die ultimative Flexibilität bei der Systemintegration.

Beide, Kaltkatode und die Kaltkatoden-Pirani Kombinationssensoroption bieten nahtlosen Übergang, Zuverlässigkeit, und Flexibilität in allen Weitbereichs-Applikationen.

Vorteile

  • Lange Lebensdauer in rauen Einsatzumgebungen

  • Geringes magnetisches Streufeld

  • Zuverlässige und schnelle Zündung

  • Schnellste Wartung - austauschbarer Einsatz
  • Kompakte Baugröße - einfache Integration
  • Korrosionsbeständige Durchführung & Sensor Element
  • Wählbarer Messstrom
  • 2 Relais-Schaltpunkte (MxG55x)
  • EtherCAT und RS232/ RS485 digitale Schnittstellen

Typische Anwendungen

  • Überwachung und Steuerung des Basisdrucks von Atmosphärendruck bis Hochvakuum in Verdampfungs- und Sputter-Anwendungen
  • Allgemeine Vakuummessung – Industrieöfen, architektonische Glasbeschichtungen, Halbleiterfertigung, Kühl- und Klimaanlagen.
  • Anwendungen in der Analytik und Forschung und Entwicklung; Massenspektrometrie, Elektronenmikroskope, Medizin, Augenmedizin, Optik und Hochenergiephysik.

Nachrichten

NEU! Gemini mit digitaler EtherCAT Schnittstelle ist ab sofort erhältlich!

  • Massbild Gemin plus EtherCAT_15.02.2019.PNG

Technische Daten

Typ MAG5xx MPG5xx
Messsystem Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
Messbereich (air, N2) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
Genauigkeit (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 30

30

1×10-2 … 100 mbar % of reading - 30
100 … 1000 mbar % of reading - 50
Wiederholbarkeit (N2)    
1×10-8 … 1×10-2 mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100 mbar % of reading - 5
Montagerichtung any any
Zulässiger Druck bar (absolute) 10 (limited to inert gases <55°C) 10 (limited to inert gases <55°C)
Zulässige Temperatur    
Betrieb (Umgebung) °C +5 ... +55 +5 ... +55
Ausheizen am Flansch (1) °C <150 <150
Lagerung °C -40 ... +70 -40 ... +70
Filament temperatur °C - 120
Rel. Luftfeuchtigkeit über 30Tage pro Jahr    
1×10-7 … 1×10-2 mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2 mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
Betriebsspannung    
Am Messgerät (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
Restwelligkeit V (p-p)

<1

<1

Leistungsaufnahme W <2 <2
Absicherung extern AT <1 <1
Spannungsbereich    
Messwert analog V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
Messbereich    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MBx-xxx-xxxP V -  
3MAx-xxx-xxxQ V +0.667 ... +10  
Volt versus Druck    
3MAx-xxx-xxxN volts per decade 1 (logarithmic)  
3MBx-xxx-xxxP volts per decade -  
3MAx-xxx-xxxQ volts per decade 1.33 (logaritmic)  
Fehlersignal    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MA-xxx-xxxQ V <+0.3  
3MBx-xxx-xxxP V -  
Output impedance

2 x 4.7 (short circuit-proof)

 
Load impedance kΩ >10 (short circuit-proof)  
Sprungantwortzeit (druckabhängig)    
p > 1 x 10-6 mbar ms

<100

<100

p = 1x10-6...1x10-8 mbar s

~1

 
Messgerät Identifikation (FCC connector gauges)    
3MAx-0xx-000N kΩ -  
3MAx-0xx-000Q kΩ 100  
3MBx-0xx-000P kΩ -  
Status Signal, digital output (FCC connector)    
Current rating mA 100 (sink)  
High Voltage is ON V (dc) +14.5 ... +30 (depending on supply voltage)  
High Voltage is OFF V (dc) 0  
Status signal, digital output (D-sub connector)    
Supply voltage V (dc)

<30

 
Current rating mA 100  
High voltage ON V (dc)

0

 
High voltage OFF open  
Elektrische Verbindung    
3Mxx-0xx-000x FCC68, 8-pin, female  
3Mxx-0xx-010x D-sub, 9-pin, male  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
Sensorkabel    
3Mxx-0xx-000x 8-pin, shielded  
3Mxx-0xx-010x 9-pin, shielded  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
Kabellänge    
FCC connector cable m

<50 (0.14 mm2/ conductor)

 
High voltage (in the measuring chamber)    
Ignition voltage kV <4.5  
Betriebsspannung kV <3.3 <3.3
Current (in the measuring chamber)    
High current µA <380  
Low current µA <130  
Setpoint relays (MxG55x)    
Range (N2) mbar bar 5x10-5 ... 1500  
Relay contact normally open (NO), potential free  
Hysteresis % of threshold 10  
Contact rating of mechanical relays V/A <30/ <1  
Switching time ms <30  
Materialien, gasberührend    
3Mx0-xxx-xxxx Ni alloy, Mo, AI2O3, glass, stainless steels  
3Mx3-xxx-xxxx Mo, AI2O3, stainless steels  
3Mx0-11x-xxxx Ni alloy, Mo, Al2O3, glass, Ti, stainless steels  
3Mx3-11x-xxxx Mo, Al2O3, Ti, stainless steels  
Internes Volumen    
DN 25 ISO-KF cm³
DN 40 ISO-KF cm³ ~20.9
DN 40 CF-F cm³ ~25.2  
DN 40 CF-R cm³ ~25.6  
Internes Volumen cm³ 22.8 22.8
Gewicht (MxG50x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Weight (MxG55x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
Schutzgrad IP 40 IP 40
CE conformity    
RoHS 2011/65/EU  
EMC 2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1  
Safety EN 61010-1  
RS232C / 485C (MxG50x)    
Baud rates kBaud 9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6  
Address 2 switches (address 00 - 255)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
Connector for RS232 & RS485 D-Sub HD, 15-pin, male  
EtherCAT® (MxG55x)    
Protocol EtherCAT®

 

 
Communication standard

ETG.5003.1  S (R) V1.1.0 4)

ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)

 
Node address Explicit Device Identification  
Physical layer 100Base-Tx (IEEE 802.3)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), Input & output  
EtherCAT cable Special Ethernet Patch cable or crossover cable, shielded (CAT5e Quality or higher)  
Cable lenght m (ft.) <100 (330)  

1) Ohne Elektronik.

2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.

3) Kaltkathodenzündung.

Gemini Ordering Information_13.03.2019.PNG

Zubehör

MAG5xx
Teilenummer Produktbeschreibung
211-098 Zentrierring mit Feinfilter DN25KF
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
353-512 Baffle zu BPG400
MPG5xx
Teilenummer Produktbeschreibung
211-098 Zentrierring mit Feinfilter DN25KF
351-550 MxG50x Werkzeuge für Zündhilfe
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
353-512 Baffle zu BPG400

Ersatzteile

MAG5xx
Teilenummer Produktbeschreibung
351-500 MAG500 Ersatzsensor, 25KF, SS
351-556 Ersatz Ionisationskammer TI
351-512 MAG500 Ersatzsensor, 40KF, SS
351-536 MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS
351-524 MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS
351-502 MAG500 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-514 MAG500 Ersatzsensor, 40KF, TI
351-538 MAG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI
351-526 MAG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI
351-501 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, SS
351-513 MAG504 Ersatzsensor, 40KF, SS
351-537 MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS
351-525 MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS
351-503 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515 MAG504 Ersatzsensor, 40KF, TI
351-539 MAG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI
351-527 MAG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
351-555 Ersatz Ionisationskammer SS
MPG5xx
Teilenummer Produktbeschreibung
351-506 MPG500 Ersatzsensor, 25KF, SS
351-518 MPG500 Ersatzsensor, 40KF, SS
351-542 MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, SS
351-530 MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, SS
351-508 MPG500 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-520 MPG500 Ersatzsensor, 40KF, TI
351-544 MPG500 Ersatzsensor, 40CF-R, TI
351-532 MPG500 Ersatzsensor, 40CF-F, TI
351-507 MPG504 Ersatzsensor, 25KF, SS
351-519 MPG504 Ersatzsensor, 40KF, SS
351-543 MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, SS
351-531 MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, SS
351-509 MPG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-521 MPG504 Ersatzsensor, 40KF, TI
351-545 MPG504 Ersatzsensor, 40CF-R, TI
351-533 MPG504 Ersatzsensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG4xx/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
351-555 Ersatz Ionisationskammer SS
351-556 Ersatz Ionisationskammer TI
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