MPG40x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

 

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON messen von 5 x 10-9 mbar (3,8 x 10-9 Torr) bis Atmosphärendruck. Die Kombination von Technologien in einem einzigen kompakten Gerät mit nur einem logarithmischen analogen Ausgangssignal vereinfacht die Installation, Einrichtung und Integration in Ihre Anlage.

Vorteile

  • Kombinationsmessgerät – invertiertes Magnetron und Pirani
  • Großer Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphärendruck
  • Kein Filament, das ausbrennen kann
  • Ausgezeichnete Zündeigenschaften
  • Leicht zu reinigen
  • FPM- oder metallversiegelte Durchführung
  • LED-Anzeige für anliegende Hochspannung
  • Logarithmisches analoges Ausgangssignal

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Basisdruck für Verdampfungs- und Sputter-Systeme
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Mittel- und Hochvakuumbereich
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

Technische Daten

Typ MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
Messbereich (Luft, N2) 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
Genauigkeit (N2)    
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±30% ≈±30%
Wiederholbarkeit    
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±5% ≈±5%
Einbaulage any any
Zulässiger Druck bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
Zulässige Temperatur    
Betrieb (Umgebung) °C +5 … +55 +5 … +55
Lagerung °C –40 … +65 –40 … +65
Ausheizen (1) °C 150 150
Heizfadentemperatur (Pirani) °C 120 120
Versorgungsspannung    
An der Messröhre V (dc) +15 … +30 +15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
Ripple V (p-p) ≤1 ≤1
Leistungsaufnahme W ≤2 ≤2
Sicherung vorzuschalten AT ≤1 ≤1
Ausgangssignal (Messsignal)    
Spannungsbereich V 0 … +10.5 0 … +10.5
Messbereich V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
Spannung vs. Druck logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
Fehlersignal    
Keine Speisung V <0.5 <0.5
Pirani-Sensor, Heizfadenbruch V >9.5 >9.5
Ausgangsimpedanz 2 x 10 2 x 10
Minimale Lastimpedanz kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
Ansprechzeit    
p > 10-6 mbar ms <10 <10
p = 10-8 mbar ms ≈1000 ≈1000
Identifikation Messröhre 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
Status    
Nur Pirani-Modus V 0 (low) 0 (low)
Kombinierter Pirani-/Kaltkatodenmodus V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
Elektrischer Anschluss FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
Sensorkabel 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
Kabellänge m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
Betriebsspannung kV ≤3.3 ≤3.3
Betriebsstrom µA ≤500 ≤500
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
Inneres Volumen cm³ ≈20 ≈20
Gewicht    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
Schutzart IP 40 IP 40
Normen    
CE-Konformität EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.

2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.

Teilenummer

MPG400 FPM sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-010 MPG400 FPM gedichtet, DN 25 ISO-KF
351-011 MPG400 FPM gedichtet, DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 FPM gedichtet, DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-020 MPG401 Metall gedichtet, DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 Metall gedichtet, DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 Metall gedichtet, DN 40 CF-F
351-023 Magnetische Abschirmung

Zubehör

MPG400 FPM sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-023 Magnetische Abschirmung
MPG401 metal-sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-023 Magnetische Abschirmung

Ersatzteile

MPG400 FPM sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
BN846469-T Ersatz-Messsystem MPG400 DN25 ISO-KF
BN846470-T Ersatz-Messsystem MPG400 DN40 ISO-KF
BN846471-T Ersatz-Messsystem MPG400 DN40 CF-F
351-994 MPG40x Montagewerkzeug für Zündhilfe
351-995 MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
351-998 MPG400 Reparatursatz
351-999 MPG400 Wartungssatz
MPG401 metal-sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
BN846472-T Ersatz-Messsystem MPG401 DN25 ISO-KF
BN846473-T Ersatz-Messsystem MPG401 DN40 ISO-KF
BN846474-T Ersatz-Messsystem MPG401 DN40CF-F
351-994 MPG40x Montagewerkzeug für Zündhilfe
351-995 MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
351-996 MPG401 Reparatursatz
351-997 MPG401 Wartungssatz
An einen Bekannten senden