MPG40x-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Die invertierten Magnetron-Pirani-Messgeräte MPG400 und MPG401 von INFICON, messen im Bereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphäre (3.8 x 10-9 Torr bis Atmosphäre). Die Kombination zweier Technologien in einer kompakten Einheit mit einem analogen, logarithmischen Ausgangssignal verringert die Installationskomplexität bei der Integration in die Anlage.

 

Die Kaltkathoden nach dem Prinzip "Invertiertes Magnetron" der Serie MAG400 sind Direktersatz für Transmitter der  PTR 90 Serie:

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
351-010MPG400DN25 ISO-KF=230 070PTR 90DN25 KF
351-011MPG400DN40 ISO-KF=230 071PTR 90DN40 KF
351-012MPG400DN40 CF-F=230 072PTR 90DN40 CF
351-999MPG400Wartungs-Satz=keine
351-998MPG400Reperatur-Satz=keine
351-995MPG400Ersatz-Zündhilfe (10 Stk.)=keine
351-994MPG400Werkzeug für Zündhilfemontage=keine
351-023MPG400Magnet-Abschirmung=230 073 V01PTR 90

 

Abschirmung

 

Innerhalb der INFICON Linie wird ebenfalls der Typ MPG401 angeboten, welche eine metallgedichtet Version der MPG400 Linie ist. Für weiterführende Informationen klicken Sie bitte den folgenden Link an:

http://products.inficon.com/de-de/nav-products/Product/Detail/MPG40x?path=Products%2Fpg-wide-range-vacuum-gauges

 

Bitte prüfen Sie auch unsere neueste Innovation aus der Kaltkathoden-Technologie.

Unsere neuen Gemini MxG50x Kaltkathoden, welche die fortschrittlichste am Markt erhältliche Kaltkathoden-Technologie repräsentieren, sind in der Lage eine kompatible Alternative für die bestehende PTR 90 / PTR 225 / PTR 237 Serie zu bieten (vorerst nur für die analogen Varianten) 

 

http://products.inficon.com/de-de/nav-products/Product/Detail/MxG500_copy_of_MPG50x?path=Products%2FLeybold%20compatible%20products

 

Vorteile

  • Direktersatz für PTR 90 Vakuum Transmitter
  • Kombinationsmessröhre – invertiertes Magnetron & Pirani
  • Weiter Messbereich von 5 x 10-9 mbar bis Atmosphäre
  • Kein Heizfaden Ausbrennen
  • Hervorragende Zündeigenschaften
  • Einfach zu reinigen
  • FPM oder metallgedichtete Durchführung
  • LED-Anzeige für Hochspannung ein
  • Analoges logarithmisches Ausgangssignal

Typische Anwendungen

  • Hochvakuum-Drucküberwachung
  • Basisdruck für Bedampfungs- und Sputter-Systeme
  • Allgemeine Vakuum-Druckmessung und -überwachung im mittleren und Hochvakuumbereich

Nachrichten

MAG400 Serie ist Direktersatz für die PTR 90 Vakuum Transmitter
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

Technische Daten

Typ MPG400 FPM sealed
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±30%
Wiederholbarkeit  
1 x 10-8 … 100 mbar % of reading ≈±5%
Einbaulage any
Zulässiger Druck bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
Zulässige Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C +5 … +55
Lagerung °C –40 … +65
Ausheizen (1) °C 150
Heizfadentemperatur (Pirani) °C 120
Versorgungsspannung  
An der Messröhre V (dc) +15 … +30
Bei Versorgungseinheit mit max. Kabellänge (2) V (dc) +16 … +30
Ripple V (p-p) ≤1
Leistungsaufnahme W ≤2
Sicherung vorzuschalten AT ≤1
Ausgangssignal (Messsignal)  
Spannungsbereich V 0 … +10.5
Messbereich V +1.82 … +8.6
Spannung vs. Druck logarithmic, 0.6 volts per decade
Fehlersignal  
Keine Speisung V <0.5
Pirani-Sensor, Heizfadenbruch V >9.5
Ausgangsimpedanz 2 x 10
Minimale Lastimpedanz kΩ 10, short-circuit proof
Ansprechzeit  
p > 10-6 mbar ms <10
p = 10-8 mbar ms ≈1000
Identifikation Messröhre 85, referenced to supply common
Status  
Nur Pirani-Modus V 0 (low)
Kombinierter Pirani-/Kaltkatodenmodus V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
Elektrischer Anschluss FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
Sensorkabel 8 poles plus shielding
Kabellänge m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
Betriebsspannung kV ≤3.3
Betriebsstrom µA ≤500
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
Inneres Volumen cm³ ≈20
Gewicht  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
Schutzart IP 40
Normen  
CE-Konformität EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) Ohne Elektronik und magnetische Abschirmung.

2) Die Mindestspannung der Versorgungseinheit muss proportional zur der Länge des Sensorkabels erhöht werden.

Teilenummer

MPG400 FPM sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-010 MPG400 FPM gedichtet, DN 25 ISO-KF
351-011 MPG400 FPM gedichtet, DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 FPM gedichtet, DN 40 CF-F
351-998 MPG400 Reparatursatz
351-995 MxG40x/50x Zündhilfesatz(10 Stk)
351-994 MPG40x Montagewerkzeug für Zündhilfe
351-999 MPG400 Wartungssatz
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Zubehör

MPG400 FPM sealed
Teilenummer Produktbeschreibung
351-023 Magnetische Abschirmung
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