Lineardurchführungen CF

INFICONs umfassende Auswahl mechanischer Durchführungen bietet das richtige Gerät für jede anspruchsvolle Anwendung, egal ob es sich um Beschichtungskammern oder um Ihr angewandtes Forschungsprojekt unter Laborbedingungen handelt.

Die verfügbaren Flanschausführungen ISO-KF / ISO-K und CF entspricht unserer Produktlinie an Anschlüssen. Alle Durchführungen sind zur Verwendung in Vakuumanlagen mit Leckraten bis zu 1 x 10-9 mbarl/s geeignet. Für UHV ist auch eine ganz in Metall ausgeführte Durchführung erhältlich.

Vorteile

  • Balggedichtet für anspruchsvollere Vakuumanforderungen
  • Direkte Zug-/ Druckbewegung
  • Hochgenaue Einstellung mittels Mikrometerschraube
  • 2011/65/EU RoHS-konform
  • Linear Motion Feedthroughs CF

Technische Daten

Typ FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z
Vakuumanschluss DN 16 CF-R DN 40 CF-R DN 16 CF-R DN 40 CF-R
Durchführung/Dichtung bellow bellow bellow bellow
Wellenanschluss M4x16mm M6x10mm, Ø10mm M4x16mm M6x10mm, Ø10mm
Antrieb manual manual micrometer screw micrometer screw
Hub mm 25 50 20 50
Hub pro Drehung mm ­ ­ 0.5 1
Skalenteilung mm 5 10 0.01 0.005
Wellenlast        
Radialkraft bei max. N 20 100 20 100
Axialkraft vakuumseitig N 85 140 185 440
Axialkraft gegen atm N 100 200 200 500
Drehmoment N•m 0.2 0.5 0.2 0.5
Festigkeit mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
Druck (absolut) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Ausheiztemperatur        
Durchführung °C 300 300 300 300
Mikrometerschraube °C ­ ­ 100 100
Werkstoffe gegen Vakuum stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
Gewicht kg 0.15 0.75 0.25 1

Teilenummer

FPU016-H
Teilenummer Produktbeschreibung
214-330 FPU016-H Lineardurchführung DN 16 CF-R
FPU040-H
Teilenummer Produktbeschreibung
214-332 FPU040-H Lineardurchführung DN 40 CF-R
FPU016-Z
Teilenummer Produktbeschreibung
214-334 FPU016-Z Lineardurchführung DN 16 CF-R
FPU040-Z
Teilenummer Produktbeschreibung
214-336 FPU040-Z Lineardurchführung DN 40 CF-R
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