IQM-233 Dünnschichtabscheidungs-Controller PCI-Express-Karte

KOSTENGÜNSTIGE ABSCHEIDUNGSSTEUERUNG AUF EINER PCI EXPRESS-KARTE

Die IQM-233-PCI Express-Karte macht aus Ihrem PC einen Dünnschichtabscheidungs-Controller. Dieses von INFICON entwickelte und gefertigte Produkt ist die ideale Wahl für System-OEMs oder für Benutzer, die einen Dünnschichtabscheidungs-Controller in ein vorhandenes PC- oder SPS-Steuersystem integrieren möchten. Die Installation ist einfach – Sie benötigen lediglich einen freien PCI Express-Steckplatz. Die IQM-233-Karte ist für standardmäßige oder kleine Tower-PCs erhältlich.

UNERREICHTE AUSFÜHRUNGSMERKMALE
Die IQM-233 enthält drei QCM-Sensoreingänge und drei Quellenausgänge auf jeder Karte. Bis zu zwei IQM-233-Karten lassen sich auf einem PC verwenden (erfordert optionale IQS-233-Software), so dass Sie maximal sechs Sensoreingänge und sechs Quellenausgänge haben. Nur INFICON bietet so viel Flexibilität in einem vollintegrierten PC-basierten QCM-Controller.

IQM-233 ist mit INFICONS Oszillator IPN 782-900-010 kompatibel, so dass der Austausch einer SQM-242-Karte keinen neuen Oszillator erfordert. IQM-233 ist außerdem mit allen Einfach- und Dual-Sensorköpfen von INFICON verwendbar.

WÄHLEN SIE DIE FÜR SIE RICHTIGE SOFTWARELÖSUNG
IQM-233 enthält eine einfache Windows®-basierte Software zur Einrichtung und Steuerung von einfachen sequentiellen Prozessen oder Koabscheidungsprozessen mit nur einer IQM-233-Karte. Die optional erhältliche erweiterte Windows®-basierte IQS-233-Software ermöglicht komplexere Prozesseinrichtungen inkl. Koabscheidung mehrerer Schichten, graphische Darstellung und SPS-Integration mit ereignisgesteuerten Relais-/Eingangsfunktionen. Mit dieser Software lassen sich zwei IQM-233-Karten verwenden.

Als Alternative für Kunden, die ihre eigenen Programme schreiben möchten, enthält die IQM-233 ein LabVIEW™-Programm, das die grundsätzliche Funktionalität bietet und Programmiertechniken demonstriert.


Merkmale

  • PCI Express
  • Drei Sensoreingänge, drei Steuerausgänge
  • Installieren Sie mehrere Karten in einem PC
  • Koabscheidung mehrerer Quellen
  • Einfache SPS-Integration zur Erweiterung der I/O-Fähigkeiten
  • Einfache Verwendung
  • Hohes Preis-Leistungsverhältnis

Technische Daten

Typ IQM-233
PC-Schnittstelle PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
Sensoreingänge und Leistung  
Sensoreingänge 3
Stecker SMA - Includes one SMA/BNC adapter
Frequenzauflösung (1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
Messfrequenzbereich Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (2) ±0.12 Å
Messintervall 0.1 to 2.0 s (adjustable)
Ausgänge  
Quellenausgänge 3
Stecker 15-pin high density D-sub
Signal 0 to +/- 10 V (dc)
Auflösung 15 Bit Plus Sign
Impedanz 50 Ω
(1) Die Auflösung ist für Messintervalle von 0,25 Sekunden angegeben
(2)Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz, 0,25 s Messintervall

Teilenummer

IQM-233
Teilenummer Produktbeschreibung
782-IQM-233-G1 IQM-233 QCM-Controllerkarte für standardmäßigen PCI Express-Steckplatz
782-IQM-233-G2 IQM-233 QCM-Controllerkarte für kleinformatigen (SFF) PCI Express-Steckplatz
782-IQS-233 IQS-233 Koabscheidungssoftware

Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
Teilenummer Produktbeschreibung
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
783-500-109-10 3-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 3-m-BNC-Kabel
783-500-109-25 7,6-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 7,6-m-BNC-Kabel
783-500-109-50 15,2-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 15,2-m-BNC-Kabel
783-500-109-75 22,8-m-Oszillatorkit - inkl. OSC-100-Oszillator, 6 Zoll(15 cm)-BNC-Kabel und 22,8-m-BNC-Kabel
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
783-500-013 Nur OSC-100-Oszillator (ohne Kabel)
Cables
600-1441-P1 SMA/BNC-Adapter für IQM-233 Sensoreingänge
782-902-011 6-Zoll(15 cm)-BNC-Kabel, Stecker/Steckbuchse
782-902-012-10 3-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-25 7,6-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-50 15,2-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker
782-902-012-75 22,8-m-BNC-Kabel, Stecker/Stecker

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
An einen Bekannten senden


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