HPG400-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum

 

Das Hochdruck-Heißionisations-Pirani-Messgerät HPG400 von INFICON kombiniert Heißionisation bei hohem Druck und Pirani-Sensoren zu einem einzigen kompakten und kostengünstigen Paket für Druckmessungen im Bereich von 2×10-6 mbar bis Atmosphärendruck (1,5×10-6 Torr bis Atmosphärendruck). Das HPG400 ermöglicht Druckmessungen mit hoher Wiederholbarkeit und Reproduzierbarkeit für eine präzise Druckkontrolle bei Zerstäubungsvorgängen.

Vorteile

  • Das HPG400 spart Kosten und Werkzeugplatz und vereinfacht die Installation und Einrichtung des Vakuumsystems.
  • Das Hochdruck-Heißkathoden-Ionisationsmessgerät bietet präzise, zuverlässige Druckmessungen von 1 X 10-5 bis 1 mbar zur besseren Prozesssteuerung.
  • Vom Benutzer auswählbare Aktivierung der Heißkathodenemission zwischen 5 X 10-2 und 1 mbar
  • Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Sputter-Anwendungen in der Halbleiterherstellung und in der Elektronik- und Medienindustrie
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis hohen Vakuumbereich
  • HPG400 High Pressure Ionisation Gauge

Technische Daten

Typ HPG400
Messbereich (Luft, N2) 2×10-6 … 1000
Genauigkeit  
10-5 … 1 mbar % of reading ±15 (1)
Wiederholbarkeit  
10-5 … 10-1 mbar % of reading 2
10-1 … 100 mbar % of reading 30
Heißionenemission an, wählbar:  
Option 1 mbar 1
Option 2 mbar 5×10-1
Option 3 mbar 2×10-1
Option 4 mbar 1×10-1
Option 5 mbar 5×10-2
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch °C 80
Ausheizen (Elektronik entfernt) °C 150
Versorgungsspannung 20 … 28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … +10.2
Messbereich Heißkatode V 1.5 … 7.5
Messbereich Pirani V 8.5 … 9.75
Spannung vs. Druck, Heißkatode volts per decade 1
Spannung vs. Druck, Pirani volts per decade 0.25
Fehlersignal Heißkatode V 0.3
Fehlersignal Pirani V 0.5
Lastimpedanz, min. kΩ 10
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
Gewicht KF/CF g 430 / 695
Schutzart IP30
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Netzwerkgröße up to 64 nodes per segment
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Visuelle Kommunikationsanzeigen LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave-Messaging polling only
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 2×10-6 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Versorgungsspannung DeviceNet™ 11 … 25
Versorgungsspannung Messröhre V (dc) 20 … 28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss HPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 2×10-6 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss HPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male

(1) Genauigkeit von 10-5 mbar bis zum gewählten Heißionisationswert

2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig

(3) Für RS232C-Betrieb bei weniger als 30 m

Teilenummer

HPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
353-520 HPG400 DN 25 ISO-KF
354-486 HPG400 Ersatz-Messsystem DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 DN 40 CF-F
353-523 HPG400 LCD, DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD DNet DN 25 ISO-KF
353-528 HPG400-SD DNet DN 40 CF-F

Zubehör

HPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
357-499 Baffle HPG (10 Stück)

Ersatzteile

HPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
354-487 HPG400 Ersatz-Messsystem DN 25 ISO-KF
354-488 HPG400 Ersatz-Messsystem DN 40 CF-F
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