UL1000 Fab Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe)

 

ULTRATEST™ sensor technology

 

Der Standart bei “trocken” Vakuumdichtheitsprüfungen in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung 

 

Der Helium Leck Detektor INFICON UL1000 Fab ist heute der allgemein anerkannte Standard für kostengünstige Helium-Vakuumdichtheitsprüfung in der Industrie und bei der Halbleiterfertigung.

 

Die Trockenpumpentechnik des Geräts verhindert eine mögliche Kontamination der geprüften Bauteile oder Ausrüstung durch Kohlenwasserstoffverbindungen oder -partikel. Der UL1000Fab bildet den bestmöglichen Kompromiss zwischen hoher Leistung, beispielloser Robustheit und Wirtschaftlichkeit. Das Gerät bietet dem neuesten Stand der Technik entsprechende Nachweisgrenzen von 10-12 mbar*l/s bei entsprechend kurzen Abpump- und Reaktionszeiten. Durch die ergonomische Gerätegestaltung lässt sich der Helium Leck Detektor besonders gut handhaben und kann auch in Wartungsbereichen mit beengten Platzverhältnssen problemlos eingesetzt werden. Die wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) ermöglicht eine kontinuierliche Dichtheitsprüfung um mindestens zwei Dekaden unterhalb des vorhandenen Hintergrundpegels.  

 

Alle Gerätefunktionen sind darauf ausgelegt, den Zeitaufwand für Dichtheitsprüfungen so gering wie möglich zu halten und gleichzeitig eine kostengünstige Erkennung aller Undichtigkeiten sicherzustellen.

Vorteile

  • minimaler Aufwand zur Dichtheitsprüfung dank kurzer Abpump- und Reaktionszeiten
  • wählbare Untergrundunterdrückung (iZERO) – dadurch keine Notwendigkeit zur Durchführung mehrerer Dichtheitsprüfungen
  • einfache Handhabung unter beengten Platzverhältnissen dank der kompakten Gerätegestaltung
  • niedrige Gesamtbetriebskosten basierend auf einer Ionenquelle mit zwei Filamenten (3-jährige Garantie) und Vakuumsystem im Gegenstromprinzip.
  • hohe Bedienfreundlichkeit mit schwenkbarem Display, optischer und akustischer Anzeige und wahlweise erhältlicher Fernbedienung
  • geringer Wartungsbedarf durch integriertes Testleck mit automatischer Kalibrierung

Typische Anwendungen

  • Fertigung von Industrievakuumanlagen mit hohen Reinheitsanforderungen
  • Vakuumkomponenten oder -teilbaugruppen vor dem Einbau in vorhandene Geräte
  • Wartungsarbeiten an Vakuummessgeräten mit oder ohne Unterstützung durch die eigene Pumpe
  • Inspektion und Installation von Prozessgassystemen
  • Fertigung von Halbleitern, Flachbildschirmen und Solarzellen

Technische Daten

Typ Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Vakuumbetrieb) mbar•L/s

< 5 • 10-12

Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) mbar•L/s

< 5·10-8

Max. Einlassdruck GROSS Betrieb mbar 15
Max. Einlassdruck FINE Betrieb mbar 2
Max. Einlassdruck ULTRA Betrieb mbar 0.4
Saugvermögen im Abpumpbetrieb m³/h 25 at 50 Hz
Saugverögen für Helium GROSS Betrieb L/s max. 8
Helium Saugvermögen FINE Betrieb L/s 7
Helium Saugvermögen ULTRA Betrieb L/s 2.5
Nachweisbare Massen 2,3,4 amu
Sektorfeld Massenspektrometer 180°
Katoden Ionenquelle Iridium/ Yttrium beschichtet 2
Kalibriertes Einbau Testleck mbar•L/s

∼ 10-7

Test Anschluss DN 25 KF 1
Einstellbare Trigger

2

Interface RS 232
Schreiberausgang V 2 x10
Ein-/Ausgänge PLC compatible
Umgebungstemperatur (während Betrieb) °C +10 to +40
Gewicht 110
Abmessungen(L x B x H) 1050 x 472 x 987
Versorgungsspannung (EU) V (ac) 230 (± 10 %) 50 Hz
Versorgungsspannung (US) V (ac) 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz
Leistungsaufnahme (Typ.) VA 1100
Leistungsaufnahme (Typ.) VA 1100

Teilenummer

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Teilenummer Produktbeschreibung
550-100A Dichtheitsprüfgerät UL1000 Fab, 230 V
550-101A Dichtheitsprüfgerät UL1000 Fab, 115 V

Zubehör

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
Teilenummer Produktbeschreibung
14005 SL200, Schnüffelsonde für UL1000/5000/Modul1000, 4 m lang (Verlängerungskabel 551-205 benötigt)
14022 Verlängerungskabel für Fernsteuerung RC1000, 8 m lang
14090 LeakWare zur UL200-Familie
551-000 Ablagefach, abnehmbar
551-001 Heliumflaschen-Halter
551-002 ESD Schutzmatte
551-005 Testkammer TC1000 zu UL1000
551-010 Fernsteuerung RC1000C, kabelgebunden, mit 4 m langem Spiralkabel
551-015 Fernsteuerung RC1000WL, drahtlos, inkl. Funksender
551-020 Funksender für RC1000WL
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