Dual-Sensor mit Frontbeladung

Dual-Kristallsensoren mit Frontbeladung von INFICON bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe. Der Dual-Sensor verfügt über einen Backup-Kristall und ist von entscheidender Bedeutung für kritische Prozesse, bei denen ein zweiter Kristall in der Vakuumkammer empfehlenswert ist.

Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist. Da die Bauteile nicht gelötet, sondern mechanisch zusammengesetzt sind, können sie bei Bedarf auch vor Ort bequem ausgetauscht werden. Die Sensoren können einzeln bestellt werden oder als Teil einer Kombination aus Sensor/Durchführung, die entweder geschweißt oder mit Klemmringverschraubungen zusammengesetzt werden kann.

Merkmale

  • Dualkristalle
  • Kristallverschluss
  • Kristallhalter zur Frontbeladung
  • Einfache Installation
  • Erhältlich mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung und mit CF40-Durchführung
  • Einstellbare Länge bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen
  • Kein Anlöten erforderlich bei Bestellung mit Klemmringverschraubungen oder an Durchführung angeschweißt
  • Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombinationen aus Sensor/Durchführung erhältlich

Technische Daten

Typ Front Load Dual Sensor
Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser 130° C
Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss 400 ° C
Größe (max. Einbauraum ohne Verschluss) 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
Wasserrohr- und Koaxialkabellänge, „E“-Sensor Standard 30 in. (762 mm)
Kristallaustausch Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
Befestigung Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Installationsanforderungen  
Durchführung

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

Sonstige

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

Betriebsmittel

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

Wasserqualität Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
Materialien  
Gehäuse und Halter 304 Type stainless steel
Federn Au plated Be-Cu
Wasserrohre S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
Stecker (Microdot®) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
Isolatoren >99% Al2O3
Draht Teflon insulated copper
Sonstige mechanische Teile 304 or 18-8 stainless steel
Hartlötstelle Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
Kristall 0.550 in. (13.97 mm) diameter
Durchführungsspezifikationen 25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und Ultra-Torr-Endenabschlüsse (Klemmringverschraubung):  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatur Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
Befestigung 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Spezifikationen für Durchführung Geschweißte CF40-Endenabschlüsse (2¾-Zoll-ConFlat):  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatur Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
Befestigung Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

Zubehör

Name Beschreibung
QCM-Sensordurchführungen QCM-Sensordurchführungen
Front Load Dual Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-420-G1 Magnetventil, 24 V (zur Verwendung mit Verschluss- und Multikristallsensoren)

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

Front Load Dual Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
007-007 Haltefeder (für Kristallhalter)
007-023 Keramikhalter
080-018 Feststellschraube (für Koaxialbuchse)
082-044 Teflonschraube (für Blattfeder)
750-115-P4 Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe)
750-169-P2 Balgbaugruppe (ohne Kupplung)
750-171-P1 Fingerfederkontakt
750-172-G1 Kristallhalter (inkl. Haltefeder)
750-174-P2 Koaxialkabelbuchse
750-175-P1 Isolator (unter der Blattfeder)
750-188-P3 Blattfeder
008-007 Kristall-Greifer
750-210-G1 Verschlussmodul (Balgbaugruppe, Wellenbaugruppe und Verschlussbaugruppe)
750-215-G1 Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
750-216-G1 Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuo-Kabel, 15 cm
007-252 In-vacuo-Kabel, 30,5 cm (12 Zoll)
321-039-G11 In-vacuo-Kabel, 61 cm
007-044 In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll)
007-059 In-vacuo-Kabel, 91,4 cm (36 Zoll)
007-061 In-vacuo-Kabel, 121,9 cm (48 Zoll) - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G13 In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G14 In-vacuo-Kabel, 183 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G15 In-vacuo-Kabel, 3,5 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
321-039-G16 In-vacuo-Kabel, 4 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
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