Ausheizbarer UHV-Sensor

Ausheizbare INFICON UHV-Kristallsensoren mit Frontbeladung bieten bewährte Zuverlässigkeit und Langlebigkeit und besitzen die beste thermische Stabilität aller kommerziell erhältlichen Sensorköpfe. Der aus den Werkstoffen Edelstahl 304, Molybdän, Inconel, Nickel und Aluminiumoxid gefertigte ausheizbare UHV-Sensor ist für kontinuierliche Ausheiztemperaturen bis zu 450 °C ausgelegt (nur zum Ausheizen; die Überwachung der Abscheidung selbst erfordert Kühlwasserfluss). Dank der Frontbeladungsbauweise lässt sich der Kristallhalter auch in Anwendungen verwenden, in denen ein seitliches Einsetzen aufgrund des begrenzten Raums nicht möglich ist.

Merkmale

  • Hochtemperaturgelötete & geschweißte Bauweise
  • Ausheiztemperaturen bis 450 °C
  • Kristallverschluss (optional)
  • Kristallhalter zur Frontbeladung
  • Einfache Installation
  • CF40-Durchführung
  • Kein Anlöten oder Anschweißen an Durchführung erforderlich
  • Auf kundenspezifische Längen geschweißte Kombination aus Sensor/Durchführung

Technische Daten

Typ Bakeable Sensor w/ Shutter Bakeable Sensor w/out Shutter
Höchsttemperatur 400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring) 450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)
Sensorkopfgröße (max. Einbauraum) 1.35 in. x 1.38 in. x 1.21 in. high (34 mm x 35 mm x 31 mm high 1.35 in. x 1.38 in. x 0.94 in. high (34 mm x 35 mm x 24 mm high)
Kristallaustausch Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange. Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.
Befestigung

a) Standard—four #4-40 tapped holes on the back of the body

b) Optional—right angle bracket; IPN 007-108

Four #4-40 tapped holes on the back of the body
Durchführung

2¾ in. ConFlat®, integral with sensor head

Water, air and coax tubes are semi-rigid, but easily formed (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

2¾ in. ConFlat, integral with sensor head

Water and coax tubes are semi-rigid, but easily formed. (2.0 in. [50.8 mm] minimum bend radius)

Betriebsmittel

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)

2) Filtered, oil-free air, regulated at 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa]

3) Solenoid valve, 750-420-G1, 24 VAC or VDC, or equivalent valve required

Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max. (Do not allow to freeze.) (Customer should provide means of easily disconnecting the ¼ in. water tubes during bakeout.)
Materialien    
Gehäuse und Halter 304 type stainless steel 304 type stainless steel
Federn Molybdenum and Inconel X-750 Molybdenum and Inconel X-750
Leitungen für Wasser, Luft und Koaxialkabel 0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax  
Sonstige mechanische Teile 18-8 or 304 stainless 18-8 or 304 stainless
Isolatoren >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere >99% Al2O3 in vacuum; other high density ceramics used elsewhere
Draht

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

1) Ni (in vacuum)

2) Ni plated Cu (elsewhere)

Hartlötstelle Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
Kristall 0.550 in. (13.97 mm) diameter 0.550 in. (13.97 mm) diameter
UHV PN.png

Zubehör

Teilenummer Produktbeschreibung
750-420-G1 Magnetventil, 24 V (zur Verwendung mit Verschluss- und Multikristallsensoren)

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

Teilenummer Produktbeschreibung
007-007 Haltefeder (für Kristallhalter)
007-064 Keramikhalter
007-094 Klemmfeder
007-095 Griff
007-098 Buchsenstecker (inkl. Aderendhülsen und Überwurfmutter)
007-099 Ausheizbarer Kopfkontakt
007-100 Isolator für BNC
007-103 Isolator für ausheizbaren Kopfkontakt
007-104 BNC-Körper
007-147 Nr. 4-40 X 3/8-Schraube
007-155 Hartlötbaugruppe – 30,5 cm
007-156 Hartlötbaugruppe – 50,8 cm
007-157 Hartlötbaugruppe – 76,20 cm
007-228 Nr. 4-40 X 5/8-Schraube
007-267-P2 Spreizstab
007-268-P1 Ansatzscheibe
007-269-P1 Ansatzscheibe
008-007 Kristall-Greifer
059-0084 VCR-Dichtung
070-201 Nr. 4 Sprengring
084-069-P1 Nr. 4-40 x 3/16-Schraube
750-018-P3 Geteiltes Befestigungselement
750-018-P5 Geteiltes Befestigungselement
750-022-G5 Balgbaugruppe – 30,5 cm
750-022-G6 Balgbaugruppe – 50,8 cm
750-022-G7 Balgbaugruppe – 76,2 cm
750-028-G5 Hartlötbaugruppe mit Luftleitung – 30,5 cm
750-028-G6 Hartlötbaugruppe mit Luftleitung – 50,8 cm
750-028-G7 Hartlötbaugruppe mit Luftleitung – 76,2 cm
750-115-P4 Kupplung (zur Installation auf der Balgbaugruppe)
750-118-P4 Aktuatorträger
750-120-G3 Wellenbaugruppe
750-216-G1 Wellenbaugruppe (Teil des Verschlussmoduls)
750-218-G1 Kristallhalter
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