QCM-Sensordurchführungen


INFICON bietet eine Vielzahl von Quarzkristallmonitor(QCM)-Sensordurchführungen für unterschiedliche QCM-Sensor- und Kammerkonfigurationen. CF40 (2,75-Zoll-ConFlat®) und 2,54-cm-(1 Zoll) Bolzendurchführungen sind mit verschiedenen Kombinationen von elektrischen Anschlüssen, Wasserkühlung und Luftrohren erhältlich. INFICONs Durchführungen können zur einfachen Installation und Justierung der Sensorlänge auch mit Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen bestückt werden. Andere Durchführungsbauformen (KF40 usw.) sind auf Anfrage erhältlich; diesbezügliche Informationen erhalten Sie von INFICON.

Soweit nicht anders angegeben, besteht eine typische elektrische Verbindung für Durchführungen aus einem koaxialen BNC-Stecker auf der Atmosphärenseite und einem Microdot®-Stecker auf der Vakuumseite. Diese Art der elektrischen Verbindung ist zur Verwendung mit In-vacuo-Kabelsensoren wie INFICON Einzelsensoren mit Frontbeladung, Dualsensoren mit Frontbeladung, Sputter-, CrystalSix- und Crystal 12-Sensoren bestimmt.

Note: Wasser- und Luftrohre für Durchführungen haben einen Außendurchmesser von 4,8 mm (3/16 Zoll).


Die folgende Tabelle ist eine Kurzübersicht der Anforderungen und Teilenummern für Durchführungen je nach Sensortyp.

Merkmale

  • Ausführungen mit 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung oder CF40-Durchführung (2,75-Zoll-ConFlat®) erhältlich
  • Erhältliche Ultra-Torr-O-Ringverschraubungen
  • Kundenspezifische Durchführungskonfigurationen erhältlich
  • Andere Durchführungsbauarten auf Anfrage erhältlich

Teilenummer

QCM Sensor Feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs (Inklusive VITON®-O-Ring)
002-042 2,54-cm(1 Zoll)-Bolzendurchführung, 1 Koax, 2 Rohre
750-030-G1 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung, 1 Koax, 3 Rohre
750-707-G1 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung, 2 Koax, 3 Rohre
750-624-G1 2,54-cm-(1 Zoll)-Bolzendurchführung, 1 Koax, 2 Rohre
783-501-013 1-Zoll(2,54 cm)-Bolzendurchführung, 1 Koax, 2 Rohre, Ultra-Torr-O-Ring-Verschraubungen
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs (Inklusive Kupferdichtung)
002-043 CF40-Durchführung, 1 Koax, 2 Rohre
750-685-G1 CF40-Durchführung, 1 Koax, 3 Rohre
002-080 CF40-Durchführung, 2 Koax, 3 Rohre
750-683-G1 CF40-Durchführung, 1 Koax, 4 Rohre
206-878-G2 CF40-Durchführung, 1 Koax, 2 Rohre, Ultra-Torr-O-Ring-Verschraubungen
750-685-G2 CF40-Durchführung, 1 Koax, 3 Rohre, Ultra-Torr-O-Ring-Verschraubungen
206-890-G2 CF40-Durchführung, 2 Koax, 3 Rohre, Ultra-Torr-O-Ring-Verschraubungen
KF40 Feedthroughs (Inklusive VITON®-O-Ring)
130246 KF40-Durchführung, 1 Koax, 2 Rohre
130239 KF40-Durchführung, 1 Koax, 3 Rohre

Zubehör

Name Beschreibung
Zentrierring mit Flügelmutter Zentrierring mit Flügelmutter
QCM Sensor Feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
782-902-022 BNC an Microdot®-Adapterkabel, 6 Zoll (15 cm)

Ersatzteile

QCM Sensor Feedthroughs
Teilenummer Produktbeschreibung
002-064 Quad-Ringdichtung, VITON®, CF40
012-328 Dichtung Kupfer
070-0237 O-Ring, VITON®, 2,54 cm(1 Zoll)-Bolzen
211-003 Spannring DN 32-40 ISO-KF
211-070 Zentrierring DN 40 ISO-KF, Inox / FPM
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