Edge™ CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

 

Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen. Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

  • Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
  • Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • PVD, Etch, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung
  • tina__e1 CDG045D2 Edge Massbild mit EtherCAT.png

Technische Daten

Typ 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.15 0.15
Temperatureinfluss    
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.0025 0.0025
auf Bereich % of reading / °C 0.01 0.01
Druck, max. kPa (absolute) 400 260
Auflösung percent FS 0.003 0.003
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5
Temperatur    
Sensor °C 45 45
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +40 +10 … +40
Ausheizen am Flansch °C ≤110 ≤110
Lagerung °C –20 … +65 –20 … +65
Versorgungsspannung +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Leistungsaufnahme    
Während Aufheizphase W ≤15 ≤15
Bei Betriebstemperatur W ≤10 ≤10
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10
Ansprechzeit (2) ms 30 30
Schutzart IP 40 IP 40
Normen    
CE-Konformität EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI-Einhaltung SEMI S2 SEMI S2
Elektrischer Anschluss D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Schaltpunkt    
Anzahl Schaltpunkte 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relaiskontakt ≤30 ≤30
Hysterese percent FS 1 1
Diagnostik-Port    
Protokoll RS232-C RS232-C
Lesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Inneres Volumen    
Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Gewicht    
Gewicht 1/2'' Rohr g 837 837
Gewicht DN 16 ISO KF g 852 852
Gewicht DN 16 CF-R g 875 875
Gewicht 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Datenrate Kbps 100000 100000
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale Funktionen gelesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitaler Funktionssatz set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)

(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb

(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts  

(3) Nur für Druckregelungstyp

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG045D2 Edge PIM Ordering Information.png
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