UL3000 Fab (PLUS) Mobiles Helium Dichtheitsprüfgerät (Trockenpumpe)

 

ULTRATEST™ sensor technology

 

Für die schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen 

 

Keine Fehler bei der Wartung Ihrer Prozessanlagen. Mit der neuesten smarten Generation unserer erfolgreichen UL-Serie verkürzen Sie die Wartung ihrer Prozessanlagen - und dies sicherer als je zuvor.

 

Ihre Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen.

 

Alle Lecks werden zuverlässig erkannt. Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden.

 

Das Helium-Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab ist für alle Anwendungen konzipiert, bei denen es auf Robustheit und höchste Reinheit ankommt, wie zum Beispiel bei Wartungs- oder Produktionsvorgängen von Halbleiterproduktionsanlagen in Reinräumen.

Vorteile

  • Schnelle Wartung und maximale Standzeit von Halbleiteranlagen
  • Alle Lecks werden zuverlässig erkannt
  • Nach der Wartung wird der zeitintensive Druckanstiegstest sicher bestanden
  • Prozessausrüstung bleibt während der Dichtheitsprüfung frei von Verunreinigungen
  • Robust und langlebig. Vakuum-System unempfindlich gegen Staub und Verschmutzung
  • Ideale Erreichbarkeit der Einsatzstelle durch höchste Mobilität auf engstem Raum
  • Kurze Einarbeitungszeiten durch Intuitive Benutzerführung mit Touch Display

Typische Anwendungen

  • Leckprüfung von Komponenten, bevor sie in die Anlage installiert werden
  • Inspektionen und Installationen von Prozessgassystemen
  • Automatischer Test von hermetisch abgedichteten Komponenten mit der TC1000 Testkammer
  • Dichtheitsprüfungen innerhalb von Anwenungen, mit hohen Anforderungen an die Prüfbedingungen und die Sauberkeit

Technische Daten

Typ Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Min. nachweisbare Leckrate für Helium ( Schnüffelbetrieb ) mbar•L/s < 5·10-12
Min. nachweisbare Leckrate für Helium (Schnüffelbetrieb) mbar•L/s

< 5·10-8

Max. Einlassdruck MASSIVE Betrieb mbar 1000
Max. Einlassdruck FINE Betrieb mbar 2
Max. Einlassdruck ULTRA Betrieb mbar 0.4
Saugvermögen im Abpumpbetrieb m³/h > 30 at 50 Hz
Helium Saugvermögen ULTRA Betrieb L/s 4
Nachweisbare Massen 2,3,4 amu
Sektorfeld Massenspektrometer 180°
Katoden Ionenquelle Iridium/ Yttrium beschichtet 2
Kalibriertes Einbau Testleck mbar•L/s

∼ 10-7

Test Anschluss DN 25 KF 1
Einstellbare Trigger

4

Interface 2 x USB, Ethernet / LAN
Umgebungstemperatur (während Betrieb) °C +10 to +40
Ein-/Ausgänge Via I/O 1000 module
Gewicht 110
Abmessungen(L x B x H) 1050 x 472 x 987
Versorgungsspannung V (ac) 100 to 240 V (± 10 % ) 50/60 Hz
Leistungsaufnahme VA Typical 700, max. 1500

Teilenummer

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Teilenummer Produktbeschreibung
550-200 Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab
550-250 Dichtheitsprüfgerät UL3000 Fab PLUS

Zubehör

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
Teilenummer Produktbeschreibung
14005 SL200, Schnüffelsonde für UL1000/5000/Modul1000, 4 m lang (Verlängerungskabel 551-205 benötigt)
551-205 Verlängerungsk. für TC1000/SL200, UL3000
560-310 I/O 1000 Modul
560-335 Datenkabel 5 m
560-340 Datenkabel 10 m
525-001 Leitung SL3000-3, 3 m Länge
525-002 Leitung SL3000-5, 5 m Länge
525-003 Leitung SL3000-10, 10 m Länge
551-005 Testkammer TC1000 zu UL1000
551-010 Fernsteuerung RC1000C, kabelgebunden, mit 4 m langem Spiralkabel
551-015 Fernsteuerung RC1000WL, drahtlos, inkl. Funksender
551-201 Heliumflaschen-Halter zu UL3000 Fab
551-203 Halterung für SL3000
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