Cygnus® 2 Dünnschichtabscheidungs-Controller

Höchste Messgenauigkeit für OLED-Anwendungen

Der Dünnschichtabscheidungs-Controller Cygnus 2 bietet ein außergewöhnliches Preis-Leistungsverhältnis durch Kombination der bewährten Qualität der Dünnschichtabscheidungs-Controller von INFICON mit einzigartigen Ausführungsmerkmalen, die zur Optimierung Ihres OLED-Prozesses beitragen. Mithilfe unseres Frequenzmesssystems ModeLock erzielt der Cygnus 2 stabile, hochauflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer in der Branche unerreichten Ratenauflösung von 0,00433 Å/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristall-Controller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des Cygnus 2, so dass sich hervorragende Messergebnisse wiederholt erhalten lassen.

Merkmale

  • Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
  • Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
  • Ein Cygnus 2 kann gleichzeitig bis zu sechs Quellen steuern, unabhängig voneinander oder in beliebigen Kombinationen, so dass die Verwendung von zwei oder drei Controllern nicht länger erforderlich ist
  • Auf dem TFT-LCD-Farbdisplay können Sie Ihren Prozess schnell und einfach verfolgen
  • 10 Hz-Messung
  • +/-0,0035 Hz über 100-ms-Probe
  • USB-Datenspeicher für Screenshots, Rezepturspeicherung und zur Messwerterfassung
  • Dickensummierung von mehren Quellen
  • Mittelwertbildung der Messraten für Materialien mit niedriger Dichte und äußerst niedriger Rate (bis zu 30 Sekunden bei der Verwendung mit stabilen Quellen für die Abscheidung von OLED-Dotiermaterial mit sehr niedriger Rate)
  • Displayratenauflösung von bis zu 0,001 Å
  • Optionale 4-Meter-XIU bietet in großen Systemen die Möglichkeit zur Verwendung langer In-vacuo-Kabel
  • Steuerung ohne Abscheidung ermöglicht eine kontinuierliche Quellensteuerung beim Durchlauf der Substrate durch die Abscheidungskammer
  • 6 DAC-Standardausgänge, optional weitere 6 Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung
  • Optionale Ethernet-Kommunikation
  • RoHS-konform

Technische Daten

Typ Cygnus 2
Messleistung  
Frequenzauflösung ±0.0035 Hz @ 6 MHz
Auflösung/Messung von Dicke und Abscheidungsrate (1) ±0.00433 Å
Messfrequenzbereich 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
Dickengenauigkeit (2) 0.5%
Messintervall 0.10 s
Mittelwertbildung aus mehreren Messungen 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
Ausführungsmerkmale  
Messung mit mehreren Sensoren yes (up to 6 sensors)
Auto Z yes
Koabscheidung yes (up to 6 sensors)
Prozessrezept und Datenverwaltung  
Materialprogramme 6 independent materials
USB-Speicher yes
Messwerterfassung yes
Hardwaremerkmale  
Sensoren (3)  
Einfach 6
Dual m/CrystalTwo® 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input)
CrystalSix® 6
Crystal 12® 6
Generisch 6
Quellensteuerelemente  
Anzahl der Quellen (4) up to 6
Ausgangssteuerspannungen 0 to +/-10 V, adjustable
Ausgangsauflösung 15 bits over full range (0 to 10V)
Tiegelpositionen 64
Eingänge / Ausgänge  
Eingänge 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
Ausgänge 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
Schreiberausgang (4) 0 to +10 V, adjustable
Logische Anweisungen 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
Datenübertragung  
Standard RS232
Optional Ethernet
Display  
Dickenauflösung

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

Ratenauflösung

0.001 for 0 to 9.999 Å/s

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

Betrieb  
Leistungsbedarf

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

Betriebstemperatur 0 to 50 C (32 to 122 F)
Abmessungen, ausschließlich Befestigungen (H x B x T) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
Gewicht 13 lbs (5.9 kg)

(1) Tooling-Faktor/Dichte = 100/1, Grundfrequenz = 6 MHz

(2) Variiert je nach Prozess; Zahlen repräsentieren typische Genauigkeit

(3) Maximalkonfiguration der einzelnen Typen

(4) Cygnus 2 hat standardmäßig 6 DAC-Ausgänge; optional um 6 weitere Ausgänge erweiterbar.  Jeder der 12 Ausgänge ist als Quellensteuerspannung oder Schreiberausgang konfigurierbar. Die Anzahl gleichzeitig regelbarer Quellen ist jedoch auf 6 begrenzt.

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Zubehör

Name Beschreibung
Einfach-Sensor mit Frontbeladung Einfach-Sensor mit Frontbeladung
Dual-Sensor mit Frontbeladung Dual-Sensor mit Frontbeladung
Cool Drawer-Single-Sensor Cool Drawer-Single-Sensor
Cool Drawer Dual-Sensor Cool Drawer Dual-Sensor
Niederprofil-Dualsensor Niederprofil-Dualsensor
ALD-Sensor ALD-Sensor
Ausheizbarer UHV-Sensor Ausheizbarer UHV-Sensor
Sputtersensor Sputtersensor
CrystalSix®-Sensor CrystalSix®-Sensor
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12®-Sensor Crystal 12®-Sensor
RSH-600-Drehsensor RSH-600-Drehsensor
Teilenummer Produktbeschreibung
755-262-G1 Handgehaltener Leistungssteller (zur manuellen Leistungssteuerung)
779-220-G1 CrystalTwo Schalter, 15,2 cm (6 Zoll) BNC-Kabel
779-220-G2 CrystalTwo Schalter, 50,8 cm (20 Zoll) BNC-Kabel
Oscillator kits (Oszillator und Kabel im Lieferumfang eingeschlossen)
781-611-G15 XIU-PKG mit 4,6 m Kabel - Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-611-G30 XIU-PKG mit 9,1 m Kabel - Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-611-G50 XIU-PKG mit 15,2 m Kabel - Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-611-G100 XIU-PKG mit 30,5 m Kabel - Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-612-G15 4-m-XIU-PKG mit 4,6 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll (15 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-612-G30 4-m-XIU-PKG mit 9,1 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll (15 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-612-G50 4-m-XIU-PKG mit 15,2 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll (15 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-612-G100 4-m-XIU mit 30,5 m XIU-Kabel – Inkl. 4-m-In-vacuo-Kabel und 6-Zoll (15 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-613-G15 4-m-XIU-PKG mit 4,6 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll (51 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-613-G30 4-m-XIU-PKG mit 9,1 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll (51 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-613-G50 4-m-XIU-PKG mit 15,2 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll (51 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-613-G100 4-m-XIU-PKG mit 30,5 m XIU-Kabel – Inkl. 3,5-m-In-vacuo-Kabel und 20-Zoll (51 cm)-BNC-Kabel (XIU an Durchführung) – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
Oscillator Only (Kabel nicht eingeschlossen)
781-600-G1 XIU (Oszillator) - Für Kabellängen zwischen XIU und Sensorkopf von 15 cm bis 183 cm – Zur Verwendung mit Cygnus 2, IC6 oder XTC/3
781-600-G2 XIU (Oszillator) - Für Kabellängen zwischen XIU und Sensorkopf von 3 m bis 4 m – Zur Verwendung mit Cygnus 2 oder IC6
Cables
755-257-G6 15,2-cm-BNC-Kabel, XIU an Vakuumdurchführung
600-1261-P15 4,6-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P30 9,1-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P50 15,2-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU
600-1261-P100 30,5-m-Kabel, Cygnus 2, IC6 oder XTC/3 Controller an XIU

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle
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