SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr/mbar

INFICON SKY CDG025D-Kapazitätsmembranmessgeräte sind hochpräzise temperaturkompensierte Manometer mit stabiler Leistung für anspruchsvolle Prozessumgebungen. Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Die robuste mechanische Konstruktion und die digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. Das CDG025D-Kapazitätsmembranmessgerät setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition.

Die INFICON  SKY  CDG025D Kapazitäts- Membran - Manometer sind 1:1 Ersatz für die Oerlikon Leybold  CTR 100 Transmitter.  Kaufen Sie das Orignal vom Hersteller mit globalem Verkaufs- und Servicenetz und Produktlösungen für alle Applikationen.

 

Flange type       Full scale        INFICON part number       old Oerlikon Leybold
                                                                                               part number
                             [Torr]              CDG025D                           CTR 100

 

DN 16 ISO-KF      1000              375-001                                  230 300
                              100               376-001                                   230 301
                              20                 383-001                                   230 340V01
                              10                 377-001                                   230 302
                              1                   378-001                                   230 303
                              0.1                379-001                                   230 304V01

 

DN16 CF-R           1000              375-002                                  230 305
                              100               376-002                                   230 306
                              10                 377-002                                   230 307
                              1                   378-002                                   230 308
                              0.1                379-002                                   230 309V01

 

 Cajon 8 VCR        1000              375-003                                   230 310
                              100                376-003                                   230 311
                              10                  377-003                                   230 312
                              1                    378-003                                   230 313
                              0.1                 379-003                                   230 314V01

 

1/2" tube              1000                375-000                                  230 315
                             100                 376-000                                   230 316
                             10                   377-000                                   230 317
                             1                     378-000                                  230 318
                             0.1                  379-000                                  230 319V01

 

Vorteile

  • 1:1 kompatibel zur CTR 100 Transmitter Serie
  • Die Messbereiche reichen von 100 mTorr … 1000 Torr
  • Schnelle Stabilisierung nach dem Einschalten
  • Schnelle Erholung nach Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Hervorragende Langzeit-Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Kontaminationsgeschützter Sensor
  • Drucktaster für die Nullpunktfunktion
  • Weitspannungsbereich

Typische Anwendungen

  • Halbleiterproduktions-Ausrüstung für Etch, CVD, PVD, ALD-Prozesse
  • Speichermedien- und Display-Fertigungs-Equipment
  • Industrielle Vakuumgeräte
  • Allgemeine hochgenaue Druckmessung

Nachrichten

CDG025D series is 100% drop in replacement for CTR 100 vacuum transmitters.
  • CDG025D dimensions

Technische Daten

Typ 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Temperatureinfluss          
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
auf Bereich % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
Auflösung percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Druck, max. kPa (absolute) 400 260 260 130 130
Ansprechzeit (2) ms 30 30 30 130 130
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Temperatur          
Betrieb (Umgebung) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
Ausheizen am Flansch (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
Lagerung °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
Versorgungsspannung V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
Leistungsaufnahme W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Schutzart IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Normen          
CE-Konformität EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Elektrischer Anschluss D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
Inneres Volumen          
1/2-Zoll-Rohr cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
Gewicht          
1/2-Zoll-Rohr g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb

(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts

(3) Nichtbetrieb

(4) Nur das CDG025D-S

(5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe

(6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

  • CDG025D PN.png

Teilenummer

1000 Torr / 1100 mbar
Teilenummer Produktbeschreibung
375-000 CDG025D 1000 Torr; 1/2¨tube
375-001 CDG025D 1000 Torr; DN16ISO-KF
375-002 CDG025D 1000 Torr; DN16CF-R
375-003 CDG025D 1000 Torr; 8-VCR
376-000 CDG025D 100 Torr; 1/2¨tube
376-001 CDG025D 100 Torr; DN16ISO-KF
376-002 CDG025D 100 Torr; DN16CF-R
376-003 CDG025D 100 Torr; 8-VCR
377-000 CDG025D 10 Torr; 1/2¨tube
377-001 CDG025D 10 Torr; DN16ISO-KF
377-002 CDG025D 10 Torr; DN16CF-R
377-003 CDG025D 10 Torr; 8-VCR
378-000 CDG025D 1 Torr; 1/2¨tube
378-001 CDG025D 1 Torr; DN16ISO-KF
378-002 CDG025D 1 Torr; DN16CF-R
378-003 CDG025D 1 Torr; 8-VCR
379-000 CDG025D 0.1 Torr; 1/2¨tube
379-001 CDG025D 0.1 Torr; DN16ISO-KF
379-002 CDG025D 0.1 Torr; DN16CF-R
379-003 CDG025D 0.1 Torr; 8-VCR
383-001 CDG025D 20 Torr; DN16ISO-KF
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