SKY® CDG045D 0,05 ... 1000 Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D-Manometer sind die beste Wahl für hochpräzise Gesamtdruckmessung und -steuerung. CDG045D-Messgeräte sind temperaturgeregelt auf 45 °C für bessere Signalstabilität und Wiederholbarkeit. Sie sind erhältlich für Vollskalenbereiche von 50 mTorr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Vakuumanwendungen.

Die INFICON  SKY  CDG045D Kapazitäts- Membran - Manometer sind 1:1 Ersatz für die Oerlikon Leybold  CTR 101 Transmitter.  Kaufen Sie das Orignal vom Hersteller mit globalem Verkaufs- und Servicenetz und Produktlösungen für alle Applikationen.

 

 

Flange type            Full scale                 INFICON part                 old Oerlikon Leybold  
                                                                 number                           part number
                                     [Torr]                   CDG045D                         CTR 101

DN 16 ISO-KF             1000                    3CC1-F51-2300                        230 320
                                     100                      3CC1-C51-2300                       230 321
                                     10                        3CC1-951-2300                        230 322
                                     1                          3CC1-651-2300                        230 323
                                     0.1                       3CC1-351-2300                        230 324

 

DN16 CF-R                  1000                    3CC1-F53-2300                        230325
                                     100                      3CC1-C53-2300                       230 326
                                     10                        3CC1-953-2300                        230 327
                                     1                          3CC1-653-2300                        230 328
                                     0.1                       3CC1-353-2300                        230 329

Cajon 8-VCR                1000                    3CC1-F5E-2300                        230330
                                     100                      3CC1-C5E-2300                        230 331
                                     10                        3CC1-95E-2300                        230 332
                                     1                          3CC1-65E-2300                        230 333
                                     0.1                       3CC1-35E-2300                        230 334

 

1/2" tube                      1000                     3CC1-F59-2300                        230335
                                     100                      3CC1-C59-2300                        230 336
                                     10                        3CC1-959-2300                        230 337
                                     1                          3CC1-659-2300                        230 338
                                     0.1                       3CC1-359-2300                        230 339

 

Vorteile

  • 1:1 kompatibel zur CTR 101 Transmitter Serie
  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Konformität und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Vakuumprozesse
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse
  • Referenzsensor zur Überwachung von Testinstrumenten gemäß internationaler Standards
  • Transferstandard für Verfolgbarkeitsmessungen

Nachrichten

mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle jetzt erhältlich!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

Technische Daten

Typ 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
Temperatureinfluss      
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
auf Bereich % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
Druck, max. kPa (absolute) 400 260 130
Auflösung percent FS 0.003 0.003 0.003
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5 0.5
Temperatur      
Betrieb (Umgebung) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
Ausheizen am Flansch °C ≤110 ≤110 ≤110
Lagerung °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
Versorgungsspannung +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
Leistungsaufnahme      
Während Aufheizphase W ≤12 ≤12 ≤12
Bei Betriebstemperatur W ≤8 ≤8 ≤8
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Ansprechzeit (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
Schutzart IP 40 IP 40 IP 40
Normen      
CE-Konformität EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI-Einhaltung SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
Elektrischer Anschluss D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
Schaltpunkt      
Anzahl Schaltpunkte 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relaiskontakt ≤30 ≤30 ≤30
Hysterese percent FS 1 1 1
Diagnostik-Port      
Protokoll RS232-C RS232-C RS232-C
Lesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
Inneres Volumen      
Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Gewicht      
Gewicht 1/2'' Rohr g 837 837 837
Gewicht DN 16 ISO KF g 852 852 852
Gewicht DN 16 CF-R g 875 875 875
Gewicht 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale Funktionen gelesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitaler Funktionssatz set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™      
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
Digitale Funktionen lesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitale Funktionen einstellen set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
Gerätetyp ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O Slave-Messaging polling only polling only polling only
Versorgungsspannung Messröhre am D-Sub Stecker +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Versorgungsspannung DeviceNet mit Microstyle-Stecker 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Anschluss DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Anschluss CDG (analog Ausgang, Versorgungsspannung CDG, Schaltpunkte) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
Digitale Funktionen lesen pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitale Funktionen einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Anschluss Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Anschluss CDG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb

(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts  

(3) Nur für Druckregelungstyp

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

  • CDG045D Sky PIM Ordering Information.png

Teilenummer

1000 Torr, 1100 mbar
Teilenummer Produktbeschreibung
3CC1-351-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-KF
3CC1-353-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-CF
3CC1-359-2300 CDG045D 0.1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-35E-2300 CDG045D 0.1 Torr; 8-VCR
3CC1-651-2300 CDG045D 1 Torr; 16-KF
3CC1-653-2300 CDG045D 1 Torr; 16-CF
3CC1-659-2300 CDG045D 1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-65E-2300 CDG045D 1 Torr; 8-VCR
3CC1-951-2300 CDG045D 10 Torr; 16-KF
3CC1-953-2300 CDG045D 10 Torr; 16-CF
3CC1-959-2300 CDG045D 10 Torr; 1/2"Ø
3CC1-95E-2300 CDG045D 10 Torr; 8-VCR
3CC1-C51-2300 CDG045D 100 Torr; 16-KF
3CC1-C53-2300 CDG045D 100 Torr; 16-CF
3CC1-C59-2300 CDG045D 100 Torr; 1/2"Ø
3CC1-C5E-2300 CDG045D 100 Torr; 8-VCR
3CC1-F51-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-KF
3CC1-F53-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-CF
3CC1-F59-2300 CDG045D 1000 Torr; 1/2"Ø
3CC1-F5E-2300 CDG045D 1000 Torr; 8-VCR
An einen Bekannten senden