CrystalSix®-Sensor

Der INFICON CrystalSix-Sensor ist von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, die eine kontinuierliche Ratensteuerung erfordern. Egal, ob es sich um OLED-, MBE-, Solar-, optische Beschichtungen oder andere Prozesse mit einer längeren Zeitspanne zwischen Kammerbelüftungen handelt – der CrystalSix-Sensor bietet die Sicherheit von 6 Quarzmonitorkristallen in einem einzigen Sensorkopf. Bei Verwendung mit einem INFICON-Dünnschicht-Controller dreht der CrystalSix automatisch einen neuen Kristall in Position, wenn der aktuelle Kristall versagt oder instabil wird. Kristalle werden automatisch und ohne Unterbrechung des Prozesses ausgetauscht. So ist eine kontinuierliche Überwachung der Abscheidungsrate möglich.

 

Die Kristallindexierung wird mithilfe eines pneumatischen Mechanismus bewerkstelligt. Dieser Motor mit pneumatischem Antrieb bietet bessere thermische Kristallstabilität als die Einheiten anderer Hersteller, die teure, im Vakuum betriebene wärmeerzeugende Elektromotoren verwenden. 1/8-Zoll-Wasserkühlrohre halten den Sensorkopf thermisch stabil und ermöglichen eine flexible Sensorplatzierung.

 

Bei Verwendung mit bestimmten Dünnschicht-Controllern von INFICON liefert der Sensor eine Positionsrückmeldung, so dass bestimmte Materialien bestimmten Positionen zugewiesen werden können.

Merkmale

  • Enthält 6 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
  • Stabile Kristalltemperatur aufgrund des pneumatisch angetriebenen Kristallwechsels (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
  • 1/8-Zoll-Wasserkühlschläuche sorgen für thermische Stabilität und gestatten flexible Sensorplatzierung
  • Optionaler Kristallverschluss erhältlich

Technische Daten

Typ CrystalSix Sensor
Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser 130°C
Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss 400° C
Wasser, Luft und Koaxialkabellänge Standard 30 in. (76 cm)
Kristallaustausch Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
Befestigung Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
Größe (max. Einbauraum) 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
Installationsanforderungen  
Durchführung

Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

 or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

 

Sonstige

User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

Betriebsmittel  
Minimaler Wasserdurchfluss

150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

Geregelte Luftversorgung 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
Materialien  
Platte, Halter, Materialabschirmung, mechanische Teile 304 type stainless steel
Federn, elektrische Kontakte Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
Wasser- und Luftschläuche S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
Stecker (Microdot®) Stainless steel
Isolatoren >99% Al2O3
Kabel Teflon® insulated copper
Kristall 0.550 in. Diameter
Gehäuse und Karussell 2024 T351 Aluminum

Teilenummer

CrystalSix Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-446-G1 CrystalSix-Sensor (nur Sensor, Durchführung nicht eingeschlossen)

Zubehör

Name Beschreibung
QCM-Sensordurchführungen QCM-Sensordurchführungen
CrystalSix Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-420-G1 Magnetventil, 24 V (zur Verwendung mit Verschluss- und Multikristallsensoren)

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

CrystalSix Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
007-007 Haltefeder (für Kristallhalter)
007-023 Keramikhalter
070-0170 Nr. 2 Sicherungsscheibe (Teil der Wärmeabschirmung)
070-0398 Haltering (zur Sicherung des Lagers neben der Ratsche und der Antriebsstange)
070-0777 Druckfeder (auf Karussellwelle)
070-0778 Kugellager (unter Karussell)
070-0779 Kugellager
070-0870 Teflon-Unterlegscheibe (auf Karussellwelle)
070-0877 Distanzscheibe (Teil der Wärmeabschirmung)
070-0879 Lager (im Zentrum der Oberplatte der Schweißbaugruppe)
073-114 Draht 0,56 mm x 26,9 mm (zur Befestigung des Haltestifts des Wärmeabschirmung)
082-026 Nr. 2-56-Überwurfmutter (Teil der Wärmeabschirmung)
750-048-P1 Haltefeder für 007-048 und 751-619-G1 Sputterkopfgehäuse
750-175-P1 Isolator (unter der Blattfeder)
750-188-P3 Blattfeder
750-249-P2 Haltestift (Teil der Wärmeabschirmung)
750-250-G1 Hitzeschild
750-256-P2 Zugfeder
750-257-P3 Wellfeder, 11,2 cm
750-261-G1 Karussellbaugruppe (inkl. Widerstandsnetzwerk und elektrische Kontakte)
750-262-G1 Kristallhalter
750-265-G1 Obere Plattenschweißbaugruppe
750-276-P2 Aktuatorabdeckung
750-278-P2 Wasserleitung
750-286-P2 Pneumatischer Aktuator
750-290-P3 Elektrische Kontakte des Karussells (Satz von 8)
750-291-P1 Arretierung
750-293-P2 Klinke
750-294-P2 Stoppklinke
750-295-G1 Sperrklinke und Aktuator
750-336-G1 Widerstandsnetzwerk-Baugruppe
750-338-P1 Kontaktisolator (unter den elektrischen Karussellkontakten)
In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuo-Kabel, 15 cm
007-252 In-vacuo-Kabel, 30,5 cm (12 Zoll)
321-039-G11 In-vacuo-Kabel, 61 cm
007-044 In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll)
007-059 In-vacuo-Kabel, 91,4 cm (36 Zoll)
007-061 In-vacuo-Kabel, 121,9 cm (48 Zoll) - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G13 In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G14 In-vacuo-Kabel, 183 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G15 In-vacuo-Kabel, 3,5 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
321-039-G16 In-vacuo-Kabel, 4 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
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