Crystal 12®-Sensor

Automatischer Kristallwechsel maximiert Produktionszeit

In Kombination mit dem INFICON IC6-Dünnschichtabscheidungs-Controller wechselt der INFICON Crystal 12-Sensor seine Kristalle automatisch, ohne Ihren Prozess zu unterbrechen. Sobald ein Kristall unstabil wird oder versagt, erteilt der IC6 dem Crystal 12-Sensorkarussell die Anweisung, einen neuen Kristall in Position zu drehen, um die Überwachung der Abscheidungsrate aufrechtzuerhalten. Zur zusätzlichen Reduzierung der Ausfallzeit können Kristalle in ein zweites optionales Karussell vorgeladen werden, das anschließend schnell und einfach gegen das Karussell mit den verbrauchten Kristallen ausgetauscht werden kann, so dass die Zeit, in der das System offen ist, verkürzt wird.

Merkmale

  • Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
  • Leicht auszubauendes Karussell ermöglicht den raschen Austausch aller 12 Kristalle
  • Stabile Kristalltemperatur durch pneumatisch angetriebenen Kristallwechsel (Einheiten anderer Hersteller verwenden wärmeerzeugende Motoren)
  • Leicht abnehmbare vordere Abscheidungsabschirmung schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, den gesamten Sensor zur Wartung auszubauen
  • Optionales Montagekit kann vom Benutzer geändert werden, so dass auch metrische Beschlagteile verwendet werden können

Technische Daten

Typ Crystal 12 Sensor
Max. Ausheiztemperatur ohne Wasser 130°C
Max. isotherme Umgebungsbetriebstemperatur bei minimalem Wasserdurchfluss 300° C
Größe (max. Einbauraum) 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed
Wasser- und Luftlänge Standard 30 in. (762 mm)
Kristallaustausch Front-loading
Befestigung Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body, six #4-40 tapped holes on outside circumference. Three #6-32 tapped holes with optional mounting kit (IPN 750-670-G1).
Gewicht 4.92 lb. (2.23 kg)
Installationsanforderungen  
Durchführung

Qty (1) 2-3/4 in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air, IPN 750-685-G1,

or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1

Befestigung User to provide mounting structure adequate to support weight of Crystal12 and designed to facilitate removal and replacement with minimal change in exact position. An optional mounting post kit, IPN 750-670-G1, may be purchased for this purpose.
Luft- und Wasseranschlüsse User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with Crystal12 accessory kit.)
Betriebsmittel Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Regulated air supply 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa - 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
Materialien  
Platte, Materialabschirmung, mechanische Teile, Gehäuse und Karussell 304 type stainless steel
Federn, elektrische Kontakte Au plated Be-Cu, Au Plated 302 stainless steel
Wasser- und Luftschläuche S-304, 0.125 in. (3.2 mm) O.D. x .016 in. (0.4 mm) Wall Thickness x 30 in. Long (762 mm) seamless stainless steel tubing
Stecker Stainless steel
Isolatoren Teflon, Peek®
Kabel Teflon insulated copper plated steel
Kristall 0.550 in. (13.97 mm) diameter
25,4 mm (1 Zoll)-Bolzen und Ultra-Torr-Endenabschlüsse (Klemmringverschraubung):  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
Temperatur Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
Befestigung 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
Geschweißte CF40-Endenabschlüsse:  
Materialien 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
Temperatur Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
Befestigung Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Crystal12_OrderChart_2013_web-01.png

Zubehör

Name Beschreibung
QCM-Sensordurchführungen QCM-Sensordurchführungen
Crystal 12 Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-420-G1 Magnetventil, 24 V (zur Verwendung mit Verschluss- und Multikristallsensoren)

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

Crystal 12 Sensor
Teilenummer Produktbeschreibung
750-276-P3 Aktuatorabdeckung
750-644-G1 Gehäuse
750-658-G1 Abscheidungsabschirmung
750-286-P2 Pneumatischer Aktuator
750-291-P1 Arretierung
750-294-P2 Stoppklinke
750-293-P2 Klinke
750-256-P2 Zugfeder
750-252-P2 Federstift
750-649-G1 Elektrischer Anschluss
750-295-G1 Sperrklinke und Aktuator
750-258-P2 Lagerwelle
070-0779 Kugellager
750-652-G1 Karussell
750-650-P1 Aperturplatte (ohne Fixierstift)
070-1253 Fixierstift
750-651-P1 Widerstandsnetzwerk-Träger
750-655-P1 Widerstandsnetzwerk-Isolator
750-642-G1 Widerstandsnetzwerk
750-661-P1 Kontaktanschluss (Karussellkomponente)
750-656-P1 Kristallisolator (Karussellkomponente)
321-038-P6 Blattfeder (Karussellkomponente)
750-657-P1 Erdungsblattfeder
750-671-P1 Schraubenfeder
750-626-P1 Feder für Sputterkopfabdeckung
750-647-P1 Spindel
070-1268 Spindellager (Spindelkomponente)
070-1254 E-Ring (Spindelkomponente)
750-660-P1 Fixierschraube (Spindelkomponente)
007-126 Nahtlosrohr 3,175 mm x 762 mm
070-201 Nr. 4 Sprengring
084-004 Nr. 4-40 x 0,187-Innensechskantschraube
070-398 Haltering
070-0867 Wellendistanzstück
070-170 Nr. 2 Sprengring
070-177 Nr. 4-40 x 3,12-Sechskantschraube
080-038 Nr. 0-80 x 0,375-Kreuzschlitzschraube
082-032 Nr. 2 Federscheibe, intern
082-045 Nr. 2-56 x 0,187-Kreuzschlitzschraube
084-054 Nr. 4 Sprengring
082-022 Nr. 2 Beilagscheibe
082-024 Nr. 2-56 x 0,250-Innensechskantschraube
750-292-P2 Arretierungsdistanzstück
080-013 Nr. 0-80 Sprengring
080-007-P1 Nr. 0-80 x 0,170 Beilagscheibe
080-009-P1 Nr. 0-80 x 0,188-Innensechskantschraube
084-048 Nr. 4-40 x 0,250-Flachkopfschraube
750-665-P1 Nr. 2-56-Ansatzschraube für Schraubenfeder
084-093 Nr. 4-40 x 1,125-Inbusschraube
086-084-P2 Nr. 6-21 x 1/8-Feststellschraube
086-041 Nr. 6-Beilagscheibe
086-038 Nr. 6-Sprengring
086-036 Nr. 6-32 x 3/8-Inbusschraube
In-vacuum cables
321-039-G12 In-vacuo-Kabel, 15 cm
007-252 In-vacuo-Kabel, 30,5 cm (12 Zoll)
321-039-G11 In-vacuo-Kabel, 61 cm
007-044 In-vacuo-Kabel, 78,1 cm (30 Zoll)
007-059 In-vacuo-Kabel, 91,4 cm (36 Zoll)
007-061 In-vacuo-Kabel, 121,9 cm (48 Zoll) - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G13 In-vacuo-Kabel, 154 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G14 In-vacuo-Kabel, 183 cm - Erfordert ModeLock-Controller
321-039-G15 In-vacuo-Kabel, 3,5 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
321-039-G16 In-vacuo-Kabel, 4 m - Erfordert ModeLock-Controller und 4-m-XIU
An einen Bekannten senden


Verwandte Produkte