Passives Bayard-Alpert-Heißkathoden-Ionisationsvakuummeter BAG05x UHV

Die passiven Bayard-Alpert-Vakuummessköpfe BAG050, BAG051, BAG052 und BAG053 von INFICON sind zur Verwendung mit den INFICON Vakuummessgerät-Controllern VGC083A und VGC083B ausgelegt. Die mit Yttriumoxid beschichteten Filamente werden für allgemeine Vakuumanwendungen in Luft und Inertgasen wie N2 und Argon verwendet. Wählen Sie Wolframfilamente für Gase, die mit Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten nicht kompatible sind. BAG05x-Messgeräte können auch mit kompatiblen Vakuummessgerät-Controllern anderer Hersteller betrieben werden. Die passiven INFICON Bayard-Alpert-Ionisations-Vakuummessgeräte (BAG05x) werden in drei unterschiedlichen Konfigurationen angeboten:

BAG050 ist ein ungeschütztes UHV-Ionisations-Vakuummessgerät mit EB-Entgasung zur Messung von Drücken bis auf 2×10-11 Torr herab.

BAG051 ist ein ungeschütztes Ionisations-Vakuummessgerät mit resistiver Entgasung (I2R) zur Messung von Drücken bis auf 4×10-10 Torr.

BAG052 und BAG053 sind in Glas eingeschlossene Ionisations-Vakuummessgeräte mit resistiver Entgasung (I2R) zur Messung von Drücken bis auf 4×10-10 Torr.

 

 

 

Vorteile

  • Zuverlässiges und bewährtes Messkopfdesign

  • Direktersatz für die meisten ungeschützten Messköpfe von Heißkathoden-Ionisationsvakuummetern

  • Breiter Emissionsstrombereich (100 μA bis 10 mA)

  • Erhältlich mit einem oder mit zwei Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten oder mit zwei Wolframfilamenten in der Kathodeneinheit

  • Entgasung: Alle Modelle lassen sich mit Elektronenbombardierung (EB) entgasen.

    BAG051, BAG052 und BAG053 können auch resistiv entgast werden (I2R)

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Technische Daten

Typ BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 BAG055
Messbereich 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3  
Genauigkeit - N2(typisch) % 20 20 20 +/-20 +/-15
Röntgenschwelle Torr 2 x 10-11 4 x 10-10 4 x 10-10 4 x 10-10 5 x 10-10
Empfindlichkeit - N2 Torr 25-1 10-1 10-1 10-1 10-1 nominal
Entgasung          
EB (Elektronenbombardierung) W ≤40 70 nominal, ≤100 ≤100 ≤100 ≤3
I2R (widerstandsbeheizt) - 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A -
Ausheiztemperatur °C 450 450 450 450 200
Filament          
Strom A 2.5 ... 3.5 4 ... 6 4 ... 6 4 ... 6 2 ... 2.5
Spannung V (dc) 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 1.5 ... 2
Potenzial V (dc) +30 +30 +30 +30 +30
Gitterpotenzial V (dc) +180 +180 +180 +180  
Kollektorpotenzial V 0 0 0 0 0
Kollektor tungsten (W), ø0.005'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010''
Filament dual iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir), or dual hairpin iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir) dual hairpin tungsten (W) dual yttria coated iridium
Gitter photo etched closed grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid etched SS
Isolator ceramic ceramic glass to metal glass to metal glass
Glashülle - - 2 ⅟₄'' dia x 5'' long 2 ⅟₄'' dia x 5'' long  -
Montagelage any any any any any
Länge          
Gesamt in. 4 ⅟₈ 4 ⅟₈ 6 6 2.7 ... 3.8
Aufnahme in. 3 3 - -  -
Flansch 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1 ⅟₃'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1
'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

¾'' tube

DN16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 16 CF-R Mini-Conflat

DN 40 CF-R Conflat

8 VCR female

Flanschmaterial

stainless steel 304

stainless steel 304 glass Nonex 7720 glass Nonex 7720 stainless steel 304
Ordering information BAG050_BAG051_BAG052_BAG053_BAG055.png
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