SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

 

INFICON SKY CDG160D-Hochtemperaturmanometer sind die beste Wahl für präzise Gesamtdruckmessung und -regelung. CDG160D-Messgeräte sind zur besseren Leistung in anspruchsvollen Halbleiter- und Plasmaprozessen auf 160 °C temperaturgeregelt. Sie sind erhältlich für Vollskalabereiche von 1 Torr bis 1000 Torr mit allen gebräuchlichen Flanschtypen und Feldbusschnittstellen und liefern ein lineares, vom Gastyp unabhängiges Drucksignal von 0 bis 10 V. Kapazitätsmanometer von INFICON verwenden eine ultrareine korrosionsbeständige Keramikmembran aus Aluminiumoxid. Die Vorteile des Keramiksensors sind eine bessere Signalstabilität, schnellere Wiederherstellung von Atmosphärendruck, kurze Aufheizdauer und eine außerordentlich lange Lebensdauer. INFICON CDGs sind qualitativ hochwertige, kosteneffektive Drucksensoren für anspruchsvolle Halbleiter-, Plasma- und Vakuumanwendungen.

Vorteile

  • Niedrigere Gesamtbetriebskosten, 50 % schnellere Aufheizung und energieeffizienter niedriger Stromverbrauch
  • Einfache Integration, breites Spektrum an Vollskalen, Flanschen und Schnittstellen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • Ätz-, CVD-, PVD- und andere Halbleiterfertigungsprozesse
  • Chemische und korrosive Prozesse mit hohen Temperaturen
  • Allgemeine Dünnschicht- und Vakuumprozesse, die Messgerätschutz erfordern

Nachrichten

mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle ab sofort erhältlich!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

Technische Daten

Typ 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.4 0.4
Temperatureinfluss    
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.005 0.005
auf Bereich % of reading / °C 0.02 0.02
Druck, max. kPa (absolute) 400 260
Auflösung percent FS 0.003 0.003
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5
Temperatur    
Arbeitsschritt (Umgebungstemperatur) (4) °C +10 … +50  
Ausheizen am Flansch °C ≤200 ≤200
Lagerung °C –40 … +65 –40 … +65
Versorgungsspannung +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
Leistungsaufnahme    
Während Aufheizphase W ≤18 ≤18
Bei Betriebstemperatur W ≤12 ≤12
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10
Ansprechzeit (2) ms 30 30
Schutzart IP 40 IP 40
Normen    
CE-Konformität EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI-Einhaltung SEMI S2 SEMI S2
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
Schaltpunkt    
Anzahl Schaltpunkte 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relaiskontakt ≤30 ≤30
Hysterese percent FS 1 1
Diagnostik-Port    
Protokoll RS232-C RS232-C
Lesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
Inneres Volumen    
Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Inneres Volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
Gewicht    
Gewicht 1/2'' Rohr g 837 837
Gewicht DN 16 ISO KF g 852 852
Gewicht DN 16 CF-R g 875 875
Gewicht 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale Funktionen gelesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitaler Funktionssatz set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
DeviceNet™    
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
Digitale Funktionen lesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitale Funktionen einstellen set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
Gerätetyp ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O Slave-Messaging polling only polling only
Versorgungsspannung Messröhre am D-Sub Stecker +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
Versorgungsspannung DeviceNet mit Microstyle-Stecker 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
Anschluss DeviceNet™ microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
Anschluss CDG (analog Ausgang, Versorgungsspannung CDG, Schaltpunkte) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP    
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
Digitale Funktionen lesen pressure, status, ID pressure, status, ID
Digitale Funktionen einstellen set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Anschluss Profibus DP D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
Anschluss CDG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb 

(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts 

(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(4) Umgebungstemperaturen über 40 °C können die Oberflächentemperatur über die SEMI S2-Konformitätsstufen ansteigen lassen

CDG160D Sky PIM Ordering Information.png
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