SKY® CDG025D-X3 0,1 ... 1000 Torr / mbar Prozessmessgerät

 

INFICON SKY CDG025D-Kapazitätsmembranmessgeräte sind hochpräzise temperaturkompensierte Manometer mit stabiler Leistung für anspruchsvolle Prozessumgebungen. Die fortschrittliche digitale Elektronik verbessert die Leistung des Messgeräts und umfasst Funktionen wie eine Nullfunktion per Knopfdruck und eine Sollwertjustierung. Der korrosionsbeständige ultrareine Keramiksensor bietet eine exzellente Nullstabilität mit einer langen Lebenserwartung von mehreren Millionen Druckzyklen, einschließlich Atmosphärendruckeinbrüchen. Der einzigartige, zum Patent angemeldete Sensorschutzschild schützt das Messgerät vor Prozessverunreinigung. Die robuste mechanische Konstruktion und die digitale Elektronik verbessern die EMC-Kompatibilität, Langzeitstabilität und Temperaturkompensation. Das CDG025D-Kapazitätsmembranmessgerät setzt neue Standards in Bezug auf schnelle Stabilität nach dem Einschalten und schnelle Erholung nach Atmosphärendruckexposition.

Vorteile

  • Vollskalenbereich von 100 mTorr bis 1000 Torr
  • Schnelle Stabilität nach dem Einschalten
  • Schnelle Wiederherstellung von Atmosphärendruck
  • Korrosionsbeständiger Keramiksensor
  • Ausgezeichnete langfristige Signalstabilität
  • Temperaturkompensiert
  • Sensor ist vor Verunreinigung doppelt geschützt
  • Nullung mit einem einzigen Tastendruck
  • Vielfältige Stromversorgungsmöglichkeiten
  • 2 Sollwerte
  • RS232-Schnittstelle
  • Reinraumtauglich

Typische Anwendungen

  • Geräte zur Halbleiterherstellung für Ätzen, CVD, PVD und ALD
  • Produktionsanlagen für Datenspeicher und Bildschirme
  • Ausrüstung für industrielle Vakuumverfahren
  • Allgemeine Druckmessung mit hoher Präzision
  • CDG025D X3 dimensions

Technische Daten

Typ 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
Genauigkeit (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
Temperatureinfluss          
auf Nullpunkt percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
auf Bereich % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
Auflösung percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
Druck, max. kPa (absolute) 400 260 260 130 130
Ansprechzeit (2) ms 30 30 30 130 130 / 30 (3)
Niedrigster messbarer Druck percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
Niedrigster empfohlener Messdruck percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
Niedrigster empfohlener Steuerdruck percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Temperatur          
Betrieb (Umgebung) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
Ausheizen am Flansch (4) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
Lagerung °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
Versorgungsspannung V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
Leistungsaufnahme W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Ausgangssignal (analog) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
Schutzart IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
Normen          
CE-Konformität EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL-Zertifizierung UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
Schaltpunkt          
Anzahl Schaltpunkte 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
Relaiskontakt 30 30 30 30 30
Hysterese percent FS 1 1 1 1 1
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (5))
Inneres Volumen          
Inneres Volumen 1/2'' Rohr cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
Inneres Volumen DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
Inneres Volumen DN 16 CF-R cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
Inneres Volumen 8 VCR® cm³ (in.³) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22)
Gewicht          
Gewicht 1/2'' Rohr g 310 310 310 310 310
Gewicht DN 16 ISO KF g 330 330 330 330 330
Gewicht DN 16 CF-R g 350 350 350 350 350
Gewicht 8 VCR® g 370 370 370 370 370

(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb.

(2) Anstieg 10 ... 90 % Skalenendwert

(3) Nur für Druckregelungstyp

(4) Nichtbetrieb

(5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG025D-X3 PIM 2016_04_18.png
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