BPG402-Sx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

 Das INFICON Kombinationsmessgerät BPG402-S vereinigt die Vorteile zweier Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät, zur Messung im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphäre (3,8×10-10 Torr bis Atmosphäre). Die Kombination zweier Technologien in einem Gerät verringert die Komplexität der Messgerätenstallation und der Integration in die Anlage. Wählen Sie die BPG402-S mit zwei yttriumoxid-beschichteten Iridiumheizfäden für doppelte Sicherheit und eine preiswerte, sowie reproduzierbare Messung von Prozessdruck bis hin zum Basisdruck. Die Sensorelemente mit On-Board-Kalibrierdaten garantieren maximale Reproduzierbarkeit beim Austausch der Sensoren.

 

Diese Bayard-Alpert Heißioni (Dual Filament) Pirani Kombinationsmessgeräte der BPG402-S Serie sind Driektersatz für die Transmitters der ITR 200 Serie:

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
353-570BPG402-SDN 25 ISO-KF=230 250ITR 200 SDN25 KF
353-574BPG402-SPProfiBus, DN 25 ISO-KF=230 252ITR 200 SPDN25 KF, PB
353-571BPG402-SDN 40 CF-R=230 254ITR 200 SDN40 CF-R
353-576BPG402-SDDeviceNet, DN 25 ISO-KF=230 253ITR 200SDDN25 KF, DevNet
353-575BPSG402-SPProfiBus, DN 40 CF-R=230 256ITR 200 SPDN40CF-R, PB
353-577BPG402-SDDeviceNet, DN 40 CF-R=230 257ITR 200 SDDN40 CF-R, DevNet
353-572BPG402-SLCD, DN 25 ISO-KF=230 251ITR 200 SDN25 KF, Display
353-573BPG402-SLCD, DN 40 CF-R=230 255ITR 200 SDN40 CF-R, Display
353-578BPG402-SLDN 40 CF-R, Longe Tube=230 258ITR 200 SLDN40 CF-R, Long Tube
354-494BPG402Ersatz-Sensor DN25 KF=240 020ITR 200 SErsatz-Sensor DN25 KF
354-495BPG402Ersatz-Sensor, DN40 CF-R=240 021ITR 200 SErsatz-Sensor, DN40 CF-R
354-496BPG402-SLErsatz-Sensor, DN40 CF-R=240 022ITR 200 SLErsatz-Sensor, DN40 CF-R

INFICON bietet über die gezeigten Feldbussoptionen diese Geräte auch mit einer EtherCat Schnittstelle an.

Vorteile

  • Direktersatz für Transmitter der ITR 200 Serie
  • Extrem weiter Messbereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphäre (3.8×10-10 Torr bis Atmosphäre)
  • Hervorragende Reproduzierbarkeit von 5 % im Prozessdruckbereich von 10-8 … 10-2 mbar
  • Pirani-Sicherung verhindert vorzeitiges Ausbrennen des Heizfadens
  • Zwei yttriumoxid-beschichtete Iridium Heizfäden für lange Lebensdauer
  • Optional sind Display und verschiedene Feldbusschnittstellen verfügbar
  • Der automatische Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert manuell durchzuführende Eingriffe am Gerät
  • Einfach zu auszutauschendes Sensorelement mit Onboard-Kalibrierdaten garantiert gute Reproduzierbarkeit
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -überwachung im Grob- bis Ultrahochvakuumbereich

Nachrichten

Direktersatz für Transmitter der ITR 200 Serie

NEU! Mit EtherCAT digitalem Interface erhältlich !

  • tiba31e1 Massbild.png

Technische Daten

Typ BPG402-S
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Genauigkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Wiederholbarkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Entgasen (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch, ohne Elektronik BPG402-S °C 80
Ausheizen am Flansch, ohne Elektronik BPG402-SL °C 150
Versorgungsspannung +20 … +28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … +10
Messbereich V +0.774 … +10
Spannung vs. Druck volts per decade 0.75
Fehlersignal V 0.1 / 0.3 / 0.5
Lastimpedanz, min. kΩ 10
Schaltpunktrelais  
Anzahl Schaltpunkte 1
Bereich mbar 1×10-9 … 100
Relaiskontakt n.o., potential free
Hysterese % of reading 10
Kontaktbelastung ≤30
Digitale Funktionen degas
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Emissionskontrolle automatic / manual via interface
Heizfaden two Yt2O3 coated Ir
Heizfadenstatus / Relais LED / relay
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF/CF g 450 / 710
Schutzart IP30
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung ≤30
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss CDG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave-Messaging polling only
Schaltpunktrelais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung ≤30
Versorgungsspannung DeviceNet™ +11 … +25
Versorgungsspannung Messröhre +20 … +28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale EtherCAT-Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330)

1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung

2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig

3) Für RS232C-Betrieb <30 m

Teilenummer

BPG402-S
Teilenummer Produktbeschreibung
353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577 BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL langes Rohr DN 40 CF-R
354-494 BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495 BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
354-496 BPG402-SL Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A

Zubehör

BPG402-S
Teilenummer Produktbeschreibung
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
353-512 Baffle zu BPG400
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF
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