BPG400-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

Das INFICON Kombinationsmessgerät BPG400 vereinigt die Vorteile zweier Technologien in einem einzigen kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von 5×10-10 mbar bis Atmosphäre (3.8×10-10 Torr bis Atmosphäre). Die Kombination zweier Technologien in einem Gerät verringert die Komplexität der Messgeräteinstallation und der Integration in die Anlage. Wählen Sie das BPG400 für preiswerte und reproduzierbare Messung des Prozessdruckes bis hin zum Basisdruck.

 

Die Bayard Alpert Heißioni - Pirani Kombinationsmessröhre BPG400 ist ein Direktersatz für Transmitter der ITR 90 Serie:

 

Teile-Nr.TypTeile-Nr.Typ
353-500BPG400DN 25 ISO-KF=120 90ITR 90DN 25 ISO-KF
353-502BPG400DN 40 CF-R=120 92ITR 90DN 40 CF-R
353-505BPG400-SPProfiBus, DN 25 KF=230 030ITR 90DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SPProfiBus, DN 40 CF-R230 031ITR 90DN 40 CF-R
353-501BPG400LCD, DN 25 ISO-KF=120 91ITR 90DN 25 ISO-KF Displ.
353-503BPG400LCD, DN 40 CF-R=120 94ITR 90DN 40 CF-R Displ.
354-490BPG400Ersatz-Sensor DN 25 ISO-KF=E 121 02ITR 90Ersatz-Sensor IE90 DN 25 KF
354-491BPG400Ersatz-Sensor DN 40 CF-R=E 121 03ITR 90Ersatz-Sensor IE90 DN CF-R

Vorteile

  • Direktersatz für  ITR 90 Vakuum Transmitter
  • Extrem weiter Messbereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphäre (3.8×10-10 Torr bis Atmosphäre)
  • Hervorragende Reproduzierbarkeit von 5 % im Prozessdruckbereich von 10-8 … 10-2 mbar
  • Die Pirani-Sicherung schützt den Heizfaden des Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen und übermäßiger Verschmutzung bei höherem Druck als Hochvakuum.
  • Langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridium-Heizfäden
  • Optional sind Display und verschiedene Feldbusschnittstellen verfügbar
  • Der automatische Hochvakuum-Pirani-Abgleich reduziert manuell durchzuführende Eingriffe am Gerät
  • RoHS-Konformität
  • Allgemeine Vakuummessung und -überwachung im Grob- bis Ultrahochvakuumbereich

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -überwachung im Grob- bis Ultrahochvakuumbereich

Nachrichten

Direktersatz für  ITR 90 Vakuum Transmitter
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

Technische Daten

Typ BPG400
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Genauigkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Wiederholbarkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Entgasen (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch, mit Verlängerung °C 150
Ausheizen am Flansch, ohne Verlängerung °C 80
Ausheizen (Elektronik entfernt) °C 150
Versorgungsspannung +20 … +28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … +10
Messbereich V +0.774 … +10
Spannung vs. Druck volts per decade 0.75
Fehlersignal V 0.3 / 0.5
Lastimpedanz, min. kΩ 10
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF/CF g 285 / 550
Schutzart IP30
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave Messaging polling only
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Versorgungsspannung DeviceNet™ +11 … +25
Versorgungsspannung Messröhre +20 … +28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male

1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung

2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig

3) Für RS232C-Betrieb

30 m<

Teilenummer

BPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R
353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506 BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
354-490 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A

Zubehör

BPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
353-510 Ausheizverlängerung
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
353-512 Baffle zu BPG400
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Datenblätter

Broschüren

Handbücher

3D-STEP-Dateien

Sonstige Dateien

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