BPG402-Sx-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

 

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG402-S von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8×10-10 Torr bis Atmosphärendruck). Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Das BPG402-S mit dualen Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket. Sensorelemente mit Onboard-Kalibrierdaten garantieren hohe Reproduzierbarkeit beim Austausch der Sensoren.

Vorteile

  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Nachrichten

NEU! Ab sofort mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

  • tiba31e1 Massbild.png

Technische Daten

Typ BPG402-S
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Genauigkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Wiederholbarkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Entgasen (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch, ohne Elektronik BPG402-S °C 80
Ausheizen am Flansch, ohne Elektronik BPG402-SL °C 150
Versorgungsspannung +20 … +28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … +10
Messbereich V +0.774 … +10
Spannung vs. Druck volts per decade 0.75
Fehlersignal V 0.1 / 0.3 / 0.5
Lastimpedanz, min. kΩ 10
Schaltpunktrelais  
Anzahl Schaltpunkte 1
Bereich mbar 1×10-9 … 100
Relaiskontakt n.o., potential free
Hysterese % of reading 10
Kontaktbelastung ≤30
Digitale Funktionen degas
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Emissionskontrolle automatic / manual via interface
Heizfaden two Yt2O3 coated Ir
Heizfadenstatus / Relais LED / relay
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF/CF g 450 / 710
Schutzart IP30
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung ≤30
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss CDG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave-Messaging polling only
Schaltpunktrelais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung ≤30
Versorgungsspannung DeviceNet™ +11 … +25
Versorgungsspannung Messröhre +20 … +28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale EtherCAT-Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330)
(1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung(2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig(3) Für RS232C-Betrieb <30 m

Teilenummer

BPG402-S
Teilenummer Produktbeschreibung
353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL langes Rohr DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577 BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495 BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R

Zubehör

BPG402-S
Teilenummer Produktbeschreibung
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
353-512 Baffle zu BPG400
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Ersatzteile

BPG402-S
Teilenummer Produktbeschreibung
354-494 BPG402 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-495 BPG402 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
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