BPG400-Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

 

Das Bayard-Alpert-Pirani-Kombinationsmessgerät BPG400 von INFICON bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5×10-10 mbar (3,8×10-10 Torr) bis Atmosphärendruck . Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Das BPG400 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket.

Vorteile

  • Extrem großer Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 x 10-10 Torr bis Atmosphärendruck)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Das Pirani-Interlock schützt das Bayard-Alpert-System vor vorzeitigem Ausbrennen des Filaments und übermäßiger Verunreinigung durch Hochdruckbetrieb
  • Langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • RoHS-Konformität
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

Technische Daten

Typ BPG400
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
Genauigkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Wiederholbarkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Entgasen (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch, mit Verlängerung °C 150
Ausheizen am Flansch, ohne Verlängerung °C 80
Ausheizen (Elektronik entfernt) °C 150
Versorgungsspannung +20 … +28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … +10
Messbereich V +0.774 … +10
Spannung vs. Druck volts per decade 0.75
Fehlersignal V 0.3 / 0.5
Lastimpedanz, min. kΩ 10
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Elektrischer Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF/CF g 285 / 550
Schutzart IP30
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave Messaging polling only
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 100
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Versorgungsspannung DeviceNet™ +11 … +25
Versorgungsspannung Messröhre +20 … +28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss BPG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
(1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung(2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig(3) Für RS232C-Betrieb <30 m

Teilenummer

BPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
353-500 BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501 BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 DN 40 CF-R
353-503 BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506 BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508 BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
354-491 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
354-490 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF

Zubehör

BPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
353-510 Ausheizverlängerung
353-512 Baffle zu BPG400
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Ersatzteile

BPG400
Teilenummer Produktbeschreibung
354-490 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 25 ISO-KF
354-491 Ersatz-Messsystem BPG400; DN 40 CF-R
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