BCG450-Dreifachmessgerät Triple-Gauge™ für den Bereich von Atmosphärendruck bis Ultrahochvakuum

 Das INFICON BCG450 Kombinationsmessgerät (Triple-Gauge™)vereinigt die Vorteile dreier verschiedenen Technologien in einem einzigen, kompakten und wirtschaftlichen Gerät zur Messung von Prozess- und Basisdruck im Bereich von 5×10-10 bis 1500 mbar (3,75×10-10 bis 1125 Torr). Das BCG450 wurde entwickelt um drei Sensoren ersetzen zu können (Hot Ion, Pirani und Vakuumschalter). Dies reduziert die Kosten und verringert den Platzbedarf an der Anlage.

Vorteile

  • Das BCG450 spart Kosten und Stellfläche und vereinfacht die Installation und Einrichtung zur Vakuummessung
  • Gasart-unabhängige Druckmessung über 10 Torr bietet zuverlässigere Schleusensteuerung bei beliebigen Gasmischungen.
  • Pirani-Interlock schützt das heiße Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
  • Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
  • Die Differenzdruckmessung bei Atmosphärendruck beseitigt Ungewissheit hinsichtlich der Änderung des atmosphärischen Drucks
  • Leicht auswechselbares Sensorelement mit integrierten Kalibrierungsdaten garantiert Reproduzierbarkeit
  • Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozessen, Transfer- und Schleusenkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung von Systemen im Bereich Grob- bis Ultrahochvakuum

Nachrichten

NEU! Ab sofort mit digitaler EtherCAT-Schnittstelle erhältlich!

  • BCG450 dimensions

Technische Daten

Typ BCG450
Messbereich 5×10-10 … 1500
Genauigkeit  
10-8 … 50 mbar % of reading ±15
50 … 950 mbar % of reading ±5
950 … 1050 mbar % of reading ±2.5
Wiederholbarkeit  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Heißionenemission an mbar 2×10-2 (high)
(wählbar hoch/niedrig, via RS232/Feldbus) mbar 8×10-3 (low)
Entgasen (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 5
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch °C 80
Ausheizen (Elektronik entfernt) °C 150
Versorgungsspannung 20 … 28
Ausgangssignal analog  
Ausgangssignal V 0 … 10.3
Messbereichsausgabe V 0.774 … 10.3
Beziehung Spannung / Druck volts per decade 0.75
Fehlersignal V 0.3 / 0.5
Mindestlast kΩ 10
Schnittstelle (digital) (2) RS232C
Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Kabellänge, max. (3) m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
Inneres Volumen KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF/CF g 285 / 550
Schutzart IP30
DeviceNet™  
Protokoll DeviceNet™, group 2 slave only
Umschaltbare Übertragungsrate kBaud 125, 250, 500 or network programmable
Kabellänge 125 kbps m (ft.) 500 (1650)
Kabellänge 250 kbps m (ft.) 250 (825)
Kabellänge 500 kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
Netzwerkgröße up to 64 nodes per segment
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Visuelle Kommunikationsanzeigen LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
Spezifikation DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
Gerätetyp ''CG'' for combination gauge
I/O Slave-Messaging polling only
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 1400
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Schaltpunkt Relais: Anschluss D-Sub, 15-pin, male
Versorgungsspannung DeviceNet™ 11 … 25
Versorgungsspannung Messröhre 20 … 28
Anschluss DeviceNet™ Microstyle, 5-pin
Anschluss BCG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
Übertragungsraten 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
Adresse 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
Digitale Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
Analoge Funktionen 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
Schaltpunkt Relais: Anzahl Schaltpunkte 2
Schaltpunkt Relais: Einstellbereich mbar 1×10-9 … 1400
Schaltpunkt Relais: Relaiskontakt n.o., potential free
Schaltpunkt Relais: Hysterese % of reading 10
Schaltpunkt Relais: Kontaktbelastung 60
Anschluss Profibus DP D-Sub, 9-pin, female
Anschluss BCG (analoge Ausgabe, Versorgungsspannung, Schaltpunkte) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
Protokoll EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
Kommunikationsstandards ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
Knotenpunktadresse Explicit Device Identification
Physikalische Schicht 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
Digitale EtherCAT-Funktionen read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
Prozessdaten Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
Mailbox (CoE) SDO requests, responses and information
EtherCAT-Stecker RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
Kabel shielded Ethernet CAT5e or higher
Kabellänge m (ft.) ≤100 (330)

(1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung

(2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig

(3) Für RS232C-Betrieb <30 m

Teilenummer

BCG450
Teilenummer Produktbeschreibung
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
353-551 BCG450 DN 40 CF-R
353-552 BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF
353-553 BCG450 LCD, DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-492 BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-493 BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

Zubehör

BCG450
Teilenummer Produktbeschreibung
353-511 Netzteil BPG400 24VDC 1,66A
353-512 Baffle zu BPG400
211-113 Zentrierring mit Baffle DN 25 KF

Ersatzteile

BCG450
Teilenummer Produktbeschreibung
354-492 BCG450 Ersatz-Messsystem DN25 KF
354-493 BCG450 Ersatz-Messsystem DN40 CF-R
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