BAG402-Messgerät den mittleren bis ultrahohen Vakuumbereich

Die einfache Bayard-Alpert-Heißionisationsmessröhre BAG402 deckt einen breiten Messbereich von 5×10-10 mbar bis 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr bis 5×10-2 Torr) ab. Die INFICON BPG402 ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Bereich Ausgangsdruck bis Prozessdruck in einem kompakten aktiven Messpaket. Die einzigartige Aufhängung der beiden Filamente garantiert unerreichte Genauigkeit, Langzeitstabilität und Langlebigkeit.

Vorteile

  • Messbereich von 5 x 10-10 mbar bis 2,7 x 10-2 mbar (3,75 x 10-10 Torr bis 5 x 10-2 Torr)
  • Ausgezeichnete Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10-8 bis 10-2 mbar von 5%
  • Überdruckerkennung schützt das Filament vor vorzeitigem Abbrand
  • Zwei langlebige Yttriumoxid-beschichtete Iridiumfilamente
  • Automatische Emissionsstromauswahl reduziert Steuerkomplexität
  • Leicht austauschbares Sensorelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
  • Industrielle Beschichtung
  • Allgemeine Vakuummessung und Steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

Technische Daten

Typ BAG402
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) 5×10-10 … 2.7×10-2
Versorgungsspannung  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Wiederholbarkeit  
Messbereich (Luft, O2, CO, N2) % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Druck, max. bar (absolute) 2
Temperatur  
Betrieb (Umgebung) °C 0 … +50
Lagerung °C -20 … +70
Ausheizen am Flansch, ohne Elektronik BPG402-S °C 80
Versorgungsspannung +20 … +28
Analoges Ausgangssignal  
Ausgangssignal V 0 … +10
Messbereich log / lin V 0 … +9
Volt versus Druck volts per decade 1
Fehlersignal V > +10
Lastimpedanz, min.. kΩ 10
Sekundärer Ausgang none
Schaltpunktrelais  
Anzahl Schaltpunkte none
Bereich  
Relaiskontakt  
Hysterese  
Kontaktbelastung  
Digitale Funktionen degas and emission
Schnittstelle (digital) (2) Diagnosis port
Emissionkontrolle manual
Filament two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
Filament Status / Relais LED / relay
Elektrischer Anschluss D-Sub, 9-pin, male
Max. Kabellänge m (ft.) 100 (330)
Werkstoffe gegen Vakuum Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Internes Volumen KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Gewicht KF / CF g 450 / 710
Schutzart IP30

1) Reduzierte Genauigkeit bei der Entgasung

2) Gleichzeitige Verwendung von RS232C oder Controllern der Baureihe VGC40x und Feldbus ist nicht zulässig

Teilenummer

BAG402
Teilenummer Produktbeschreibung
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

Zubehör

BAG402
Teilenummer Produktbeschreibung
303-333 Diagnosekabel 1.9m (P3)

Ersatzteile

BAG402
Teilenummer Produktbeschreibung
354-484 Ersatzsensor BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 Ersatzsensor BAG402 DN 40 CF-R
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