ALD-Sensor

OPTIMALE GENAUIGKEIT, MAXIMALE BETRIEBSZEIT UND MINIMALE WARTUNG FÜR ALD-ANWENDUNGEN

INFICON ALD-Sensoren bringen die Wiederholbarkeit, die Präzision und die Langlebigkeit der Quarzkristallmikrowagenmessung (QCM) zur Atomlagenabscheidung (ALD). Der ALD-Sensor kann Temperaturen bis zu 450 °C standhalten und ist für den Einsatz in der rauen Umgebung einer ALD-Anwendung ausgelegt. Die freiliegende Kristallelektrode ist vollständig geerdet, um mögliche Probleme aufgrund elektrischer Störungen zu verhindern.

Speziell für ALD entwickelt

Ein einzigartiges Merkmal des INFICON ALD-Sensors ist ein Gasröhrchen zur Spülung der Kristallrückseite und der Sensorvertiefung mit einem Inertgas, normalerweise Stickstoff. Dadurch wird das Eindringen reaktiver Kammergase in den Sensorkopf verhindert und die Kristallrückseite und die elektrischen Anschlüsse werden nicht durch Abscheidungsmaterial verunreinigt. Diese Methode ermöglicht eine In-situ-Messung in Anlagen, bei denen ein standardmäßiges QCM-Verfahren nicht möglich ist.

Durchführung und Durchführungsanschluss

INFICON ALD-Sensoren sind in maßgeschweißten Längen oder mit Klemmverschraubungen für einstellbare Länge ohne Löt- oder Schweißarbeit lieferbar. Alle Konfigurationen verwenden eine 2 3/4-Zoll (CF40) ConFlat®-Flanschdurchführung.

Hochtemperaturkristalle für präzisere Messungen

Der INFICON ALD-Sensor erzielt die höchste Messgenauigkeit und einen niedrigeren Rauschpegel in Hochtemperaturanwendungen, wenn er in Verbindung mit INFICONs neuen Hochtemperatur-Quarzkristallen verwendet wird. Diese Hochtemperaturkristalle sind für Anwendungen bei 120, 240 und 285 °C optimiert, so dass Sie immer den passenden Kristall für Ihren Prozess zur Verfügung haben. Für andere Temperaturen optimierte Kristalle sind möglicherweise ebenfalls lieferbar. Wenden Sie sich dazu bitte an INFICON.

Vorteile

  • Kompatibel mit den meisten ALD-Prozesstemperaturen
  • Deutliche Wartungsverringerung
  • Maximierung der Betriebszeit
  • Maximierung der Messgenauigkeit
  • Stabile Messwerte mit niedrigem Rauschpegel bei hohen Prozesstemperaturen

Merkmale

  • Betriebstemperatur bis zu 450 °C
  • Spülgasleitung verhindert Ablagerung von Abscheidungsmaterial auf der Kristallrückseite
  • Angeschweißter Conflat-Flansch (CF40) als Alternative
  • O-Klemmringverschraubung als Alternative
  • Hochtemperaturkristalle sind erhältlich

Typische Anwendungen

  • Atomlagenabscheidung (ALD, Atomic Layer Deposition)
ALD PN.png

Zubehör

Teilenummer Produktbeschreibung
750-1058-G10 Für 120°C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10
750-1059-G10 Für 240 °C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10
750-1060-G10 Für 285 °C optimierte Kristalle, 6 MHz, 14 mm, Gold, Packung à 10

Verbrauchsmaterialien

Name Beschreibung
Quarzmonitorkristalle Quarzmonitorkristalle

Ersatzteile

Teilenummer Produktbeschreibung
007-007 Haltefeder (für Kristallhalter)
007-064 Keramikhalter
007-094 Klemmfeder
007-095 Griff
007-098 Buchsenstecker (inkl. Aderendhülsen und Überwurfmutter)
007-099 Ausheizbarer Kopfkontakt
007-100 Isolator für BNC
007-103 Isolator für ausheizbaren Kopfkontakt
007-104 BNC-Körper
007-147 Nr. 4-40 X 3/8-Schraube
007-228 Nr. 4-40 X 5/8-Schraube
007-267-P2 Spreizstab
007-268-P1 Ansatzscheibe
007-269-P1 Ansatzscheibe
070-201 Nr. 4 Sprengring
084-069-P1 Nr. 4-40 x 3/16-Schraube
750-018-P3 Geteiltes Befestigungselement
750-018-P5 Geteiltes Befestigungselement
750-218-G1 Kristallhalter
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