气体浓度监测器

使用气体浓度监测器测量双气体混合成分是一简单而可靠的方法。 在正常使用情况下,精确地测量工艺气体和载气的比率可有效降低工艺不稳定性,提升工艺材料的利用效率。 宽广的压力范围(200 至 1000 Torr)和高灵敏度使其成为包括 MOCVD 在内的半导体研发和生产制造及许多工业应用中不可或缺的设备。

气体浓度监测器

双气体浓度监测器

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气体浓度监测器

已停产的气体浓度控制器

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