광범위한 진공 게이지

 

INFICON의 광범위한 진공 게이지는 컴팩트한 디자인에 뛰어난 정확성과 안정성을 제공합니다. 네 가지 실제 기술이 초고진공에서 대기에 이르기까지 광범위한 진공에 적용됩니다.

INFICON Pirani 기술을 통해 저중급 진공 범위에서 경제적인 측정이 가능해졌습니다. INFICON의 소형 용량형 격막식 기술을 사용하여 낮은 진공 범위에서 정밀한 측정을 실시할 수 있는 반면, 초고 진공 범위에는 열 또는 냉 이온화 기술이 적용됩니다.

각 측정 기술은 독립형 센서로 사용될 수 있거나 보완 측정 기술과 결합되어 전체 진공 범위에 최적의 가격 대 성능 비율을 구현할 수 있습니다.

 

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - advanced series

All-in-One Convection enhanced Pirani Gauge for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere.

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - standard series

The PGE300 Convection enhanced Pirani Gauge offers the same sensor technology like PGE500 to yield same accuracy readings in the measurement range between 100 to 1000 mbar. It offers the most critical built in features to minimize cost.

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NEW Convection Gauge Enhanced Pirani Gauges - passive

The Convection enhanced Pirani Gauge PGE050 for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere is intended for use as gauge sensor in the classic "Passive Gauge - Controller combination". Our Passive Gauge Controller VGC031 and VGC083 are the counterparts of choice.

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NEW Vacuum Gauge Controller - for passive gauge series PGE050

The INFICON Vacuum Gauge Controller 031 (VGC031) is designed for use in conjunction with the INFICON Convection Enhanced Pirani Gauge PGE050.

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NEW Bayard Alpert Vacuum Gauge Heads - Passive

The INFICON Bayard-Alpert passive vacuum gauge heads BAG050, BAG051, BAG052 and BAG053 are designed for use with the INFICON Vacuum Gauge Controller VGC083A & VGC083B.



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NEW Bayard Alpert Hot Ion Gauge - standard

For applications that require a stand alone hot ion gauge, INFICON offers the single Technology Bayard Alpert Hot Ion Gauge with its NEW highly economical standard double filament solution.

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새로운 Bayard-Alpert 게이지

INFICON은 독보적인 고온 진공관 압력계 기술을 필요로 하는 분야에서 사용할 수 있는 단일 기술, Bayard Alpert Hot Ion Gauge를 선보입니다.

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바야드-알퍼트 피라니 게이지

초고진공부터 대기압까지 매우 광범위한 측정이 가능한 컴비네이션 게이지 기술

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고압 핫 이온 피라니 게이지

2 x 10-6mbar ~ 대기압 범위에서 정확한 박막증착 프로세스 압력 제어를 위해 고도로 반복 가능하고 재현 가능한 압력 측정



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바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이아프램 게이지 - 트리플 게이지

컴비네이션 게이지 기술 - 3가지의 게이지 기술을 1개의 게이지로 결합하여 UHV부터 1500mbar 영역에서 정확한 공정 및 베이스 압력 측정

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새로운 Inverted Magnetron Pirani 게이지

새로운 Gemini™ Inverted Magnetron 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야(진행 중)에 적용 가능한 장치이며 대기압부터 1x10– 9mbar 사이를 측정합니다.

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인버티드 마그네트론 피라니 게이지

인버티드 마그네트론 및 피라니 게이지 원리의 결합은 대기압부터 5 x 10-9mbar의 압력을 측정합니다.

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페닝 콜드 캐소드 게이지

견고한 페닝 콜드 캐소드 게이지는 1 x 10-2mbar부터 1 x 10-9mbar의 고진공 범위에서 신뢰성 있는 고진공 측정을 제공합니다. Fieldbus 옵션도 제공됩니다.



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피라니 스탠다드 게이지

5 x 10-4mbar ~ 대기압 범위 내에서 매우 신뢰할 수 있는 측정을 하는 가장 컴팩트한 Pirani 게이지



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피라니 스탠다드 게이지 - 고급 시리즈

5 x 10-4mbar ~ 대기압 범위에서 특정 진공 측정에 적합한 제품이며, 필드버스 옵션을 포함, 매우 다양한 기능을 갖춘 컴팩트한 피라니 게이지 제품군

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피라니 커패시턴스 다이아프램 게이지

'대기압에 가까운' 범위에서 뛰어난 정확성을 갖추고 5 x 10-4mbar부터 대기압 사이 측정 범위를 제공하는 피라니 및 커패시턴스 다이아프램 게이지의 결합

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진공 게이지용 교정 서비스

진공게이지 팩토리 또는 Dakks 교정

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검사 자료 서비스

특정 요구 사항에 적합한 검사 자료

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서비스 문서

INFICON 서비스 트랜잭션용 문서 템플릿. INFICON 서비스 부서와 정보 교환을 지원합니다.

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