박막 증착 및 전자 빔 건 제어

INFICON의 시장을 선도하는 박막 증착 컨트롤러, 모니터 및 QCM 측정 기기는 타의추종을 불허하는 측정 속도와 정밀도로 가장 복잡한 프로세스의 증착 비율 및 두께를 제어합니다. 개선된 소프트웨어 및 논리 I/O 기능을 사용하여 당사의 박막 증착 컨트롤러/QCM 측정 기기를 진공 시스템에 완전히 통합하여 프로세스를 자동으로 제어할 수 있습니다. 덜 복잡한 프로세스를 제어하려면 일반 방법보다 100배 더 높은 정밀도로 필름을 측정하는 INFICON의 경제적인 정밀 컨트롤러, 모니터 및 QCM 측정 기기를 사용하십시오.

일반적인 QCM 시스템에는 감지 장치로, 석영 크리스탈을 가지고 수정에 전기 연결을 제공하는 수정 홀더(센서), 수정을 구동하는 진동자(또는 ModeLock 기기용 XIU), 그리고 증착 비율 및 두께를 인식하고 프로세스 매개변수를 제어하는 컨트롤러 또는 모니터가 포함됩니다. INFICON은 두 개의 완전한 QCM 시스템뿐만 아니라 연구용으로 설계된 개별 구성품도 제공합니다.

가장 단순한 프로세스부터 가장 복잡한 프로세스에 이르기까지, INFICON은 우수한 값을 제공합니다.

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증착 컨트롤러

증착 컨트롤러에서는 QCM 센서를 사용하여 증착 공정의 속도를 제어할 수 있습니다. 가장 기본적인 것에서 가장 다채로운 기능에 이르기까지, INFICON은 필요에 맞는 증착 컨트롤러를 제공합니다.

EIES는 QCM이 적합하지 않은 특정 응용 분야를 위한 대체 속도/두께 모니터링 기술입니다.

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증착 모니터

증착 모니터는 증착 컨트롤러와 유사하지만, 속도 제어나 복잡한 시스템 통합이 필요 없는 응용 분야의 경우 더 간단합니다. INFICON 증착 모니터는 INFICON에서 기대하고 믿을 수 있는 업계 선두적인 품질을 단순하고 사용하기 쉬운 패키지로 제공합니다.

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전자빔 건 제어장치

QCM 기술에서 세계 최고의 기업인 INFICON은 현재 스윕 컨트롤러, 도가니 인덱서, 소스 컨트롤러 및 고압 전원 공급장치를 포함하여 전자빔 건 제어 장비를 제공합니다.

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석영 크리스탈 센서와 피드스루

센서는 석영 크리스탈을 보관하고 냉각시키며 수정과 피드스루를 전기로 연결합니다.  INFICON 센서는 광범위한 구성에서 사용할 수 있고 완벽한 맞춤형 솔루션을 위한 센서/피드스루 조합에서도 사용할 수 있습니다!

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진공 분야를 위한 석영 모니터 크리스탈

석영 크리스탈은 QCM 시스템의 비율 및 두께 감지 요소입니다..  이러한 크리스탈은 표준 INFICON 모니터 및 컨트롤러와 INFICON(또는 기타 제조사)의 싱글, 듀얼 또는 멀티 크리스탈 센서의 진공 분야에 사용됩니다.. 

다양한 크리스탈과 포장을 제공하는, INFICON은 고객이 필요로 하는 크리스탈을 원하실 때 제공해 드립니다.

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액체 분야를 위한 석영 모니터 크리스탈

1인치(25.4mm) 직경의 표준 AT판 크리스탈은 INFICON RQCM(연구용 석영 크리스탈 마이크로밸런스) 및 PLO-10i 시스템을 이용하는 연구 분야에 주로 사용됩니다..  이러한 연구용 크리스탈은 INFICON의 견고하고 잡기 편한 크리스탈 홀더에 사용하도록 설계되었으며 증착되는 막 또는 액체의 현장 모니터링에 사용됩니다.

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단종된 박막 제품 설명서

INFICON, Sigma Instruments, Sycon Instruments 및 Maxtek의 단종된 제품에 대한 설명서를 다운로드합니다.

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