가스 농도 모니터

가스 농도 모니터는 바이너리 가스의 성분을 간단하면서도 믿을 수 있게 측정하는 방법입니다. 적절하게 수행했을 때 전구물질 및 캐리어 가스 비율을 정밀한 수준으로 측정하여 공정 변동성을 효율적으로 줄이고 전구물질 재료의 효율적인 사용을 증진시킬 수 있습니다.  폭넓은 작동 압력 범위(200~1000Torr)와 높은 민감성 때문에 이것은 R&D 및 생산 환경에서뿐만 아니라 많은 산업 공정에서 MOCVD를 비롯한 반도체 산업용으로 없어서는 안 될 툴입니다.

가스 농도 모니터

바이너리 가스 농도 모니터

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가스 농도 모니터

단종된 가스 농도 컨트롤러

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