ガス濃度モニター

 

2018年1月31日に廃止される

 

ガス濃度モニターは、2種混合ガスの組成を測定するための、シンプルで信頼性の高い方法です。  適切なコントロールにより、前駆物質とキャリアガスの比を正確なレベルで測定することにより、プロセスの変動を効果的に低減し、前駆物質の効果的な利用を促進することができます。 動作圧力範囲が広く(200~1000 Torr)感度が高いため、MOCVDを含む半導体分野のand研究開発および生産環境の双方において、また他の多くの工業プロセスにおいても、不可欠なツールとなっています。

ガス濃度モニター

2種混合ガス濃度モニター

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ガス濃度モニター

生産中止のガス濃度コントローラー

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