多種多様な真空計

 

INFICONの幅広い真空計は優れた精度と信頼をコンパクトなデザインでお届けします。4つの物理的技術で、超高真空から大気圧まで、全範囲の真空をカバーします。.

INFICON Pirani技術によって、低~中真空範囲において費用対効果の高い測定を可能します。INFICONの小型キャパシタンスダイアフラム技術によって、低い真空範囲において正確な測定が可能になります。超高~高真空範囲は高温イオン化および低温イオン化技術によってカバーされます。.

各測定技術はスタンドアロンのセンサーとして利用するか、または 補助的な測定技術と組み合わせることで、全真空範囲において、最適な費用対効果を実現します。

 

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - advanced series

All-in-One Convection enhanced Pirani Gauge for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere.

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - standard series

The PGE300 Convection enhanced Pirani Gauge offers the same sensor technology like PGE500 to yield same accuracy readings in the measurement range between 100 to 1000 mbar. It offers the most critical built in features to minimize cost.

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NEW Convection Gauge Enhanced Pirani Gauges - passive

The Convection enhanced Pirani Gauge PGE050 for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere is intended for use as gauge sensor in the classic "Passive Gauge - Controller combination". Our Passive Gauge Controller VGC031 and VGC083 are the counterparts of choice.

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NEW Vacuum Gauge Controller - for passive gauge series PGE050

The INFICON Vacuum Gauge Controller 031 (VGC031) is designed for use in conjunction with the INFICON Convection Enhanced Pirani Gauge PGE050.

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NEW Bayard Alpert Vacuum Gauge Heads - Passive

The INFICON Bayard-Alpert passive vacuum gauge heads BAG050, BAG051, BAG052 and BAG053 are designed for use with the INFICON Vacuum Gauge Controller VGC083A & VGC083B.



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NEW Bayard Alpert Hot Ion Gauge - standard

For applications that require a stand alone hot ion gauge, INFICON offers the single Technology Bayard Alpert Hot Ion Gauge with its NEW highly economical standard double filament solution.

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新しいベアードアルパートゲージ

単独のホットイオンゲージ技術を必要とするアプリケーションのため、INFICONは単独型のベアード·アルパートホットイオンゲージを提供しています。

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ベヤード・アルパートピラニゲージ

超高真空から大気圧までの非常に広い測定領域の為のコンビネーションゲージテクノロジー

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高圧熱陰極ピラニゲージ

2 x 10-6 mbarから大気圧までの範囲で正確なスパッタリングプロセス圧力コントロールを行うための、優れた繰り返しおよび再現可能な圧力計測を提供します



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ベヤード・アルパートピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ-トリプルゲージ

コンビネーションゲージテクノロジー - 1台のパッケージに3種類のテクノロジーを組み込み、正確なプロセス圧とUHV から 1500 mbar までのベース圧力を計測することができます。

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新製品逆マグネトロンピラニゲージ

新製品Gemini™ 逆マグネトロン真空計は、大気圧から 1x10 – 9 mbar までの計測が可能な、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。

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逆マグネトロンピラニゲージ

逆マグネトロンとピラニゲージの原理を組み合わせることにより、大気圧から 5 x 10-9 mbar までの高真空度を測定します

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ペニング式冷陰極真空計

堅牢なペニング式冷陰極真空計は、1 x 10-2 mbarから 1 x 10-9 mbar までの高真空領域で信頼できる測定を提供します。 オプションでフィールドバスもご利用できます。



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ピラニ標準ゲージ

最もコンパクトなピラニゲージ設計ながら、5 x 10-4 mbar から大気圧までの範囲で極めて信頼性の高い計測を実現



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ピラニ標準ゲージ - 最先端シリーズ

5 x 10-4 mbar から大気圧までの真空測定に最適なフィールドバスオプションなどのさまざまな特長を備えたコンパクトなピラニゲージ製品

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ピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ

ピラニゲージとキャパシタンスダイアフラムゲージを組み合わせたもので、5 x 10-4 mbar から大気圧までの計測範囲に対応し、極めて高い精度で大気圧を検知します。

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真空計の較正サービス

真空ゲージは工場、もしくは、Dakksにてキャリブレーション

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検査文書サービス

特定のニーズに対応した適切な検査書類

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サービスドキュメント

INFICONサービス部門との 情報交換をサポートする、 サービス取引用の INFICON ドキュメントテンプレート

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