薄膜蒸着および電子ビーム銃制御

市場をリードするINFICONの薄膜蒸着コントローラー、モニターとQCM計測機器は、ほとんどの複雑なプロセスの蒸着速度と膜厚を、卓越した計測スピードと精度でコントロールします。強化されたソフトウェアと論理I/O機能は 、薄膜蒸着コントローラー/QCM計測機器を完全に真空システムに統合させ、自動的にプロセスをコントロールします。あまり複雑でないプロセスを制御するには、従来の技術と比較して100倍の精度でフィルムを測定する、INFICONの経済的で正確なコントローラー、モニター、およびQCM計測機器をご使用ください。.

通常のQCMシステムには、 感知装置である水晶振動子、振動子を支え、振動子に電気接続する振動子ホルダー(センサー)、振動子を駆動する発振器(またはModeLock装置の場合にはXIU)、そして蒸着速度と膜厚を読み取り、プロセスパラメーターを保存するコントローラーまたはモニターが含まれます。INFICONは両方の完全なQCMシステムおよび研究用に設計された各コンポーネントを提供します。

INFICONは非常に単純なプロセスから非常に複雑なプロセスまで、優れた価値を提供します。.

薄膜蒸着および電子ビーム銃制御

蒸着コントローラー

蒸着コントローラーを使えば、QCMセンサーを使用して、蒸着プロセスの蒸着レートコントロールを行うことができます。もっとも基本的なものから最も特殊なものに至るまで、INFICONは、お客様の必要に適した蒸着コントローラーを提供します。

EIESは、QCMが適さない特定用途向けの、代替となる蒸着レート/膜厚監視技術です。

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蒸着モニター

蒸着モニターは蒸着コントローラーと似ていますが、蒸着速度コントロールや複雑なシステム統合を必要としない用途向けに、シンプルなものになっています。 INFICONの蒸着モニターを使えば、INFICONに期待できる、信頼性の高い、業界トップの品質を、シンプルで使いやすいパッケージで活用することができます。

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電子ビームガン制御

QCM技術において世界トップクラスのINFICONは、スイープコントローラー、クルーシブルインデクサー、ソースコントローラー、および高電圧電源など、電子ビームガン制御装置を提供します。

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水晶振動センサーとフィードスルー

センサーは水晶振動子を保持して冷却します。また、振動子とフィードスルーの間を電気的に接続します。  INFICONのセンサーは幅広い設定が可能で、完全なカスタム型ソリューションのためのセンサー/フィードスルーの組み合わせとして入手することもできます。

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真空作業の水晶モニター振動子

水晶振動子は、QCMシステムのレートと膜厚のセンサー部です。これらの振動子は、すべての標準的なINFICONモニターまたはコントローラが付いた真空作業とINFICON(または他の製造)シングル、デュアル、またはマルチ振動子センサーで使用するためのものでもあります。

さまざまな振動子とパッケージを提供することで、INFICON は欲しい時に欲しい振動子をご用意します。

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液体アプリケーションの水晶モニター振動子

直径1インチ(25.4 mm)の振動子の標準ATカットは、INFICON RQCM(リサーチ水晶振動子マイクロバランス)とPLO-10iシステムによって、リサーチアプリケーションで主に使用されます。これらのリサーチ振動子は、INFICONの頑丈で、使いやすい振動子ホルダーの用途のために設計され、堆積膜または液体の元の位置のモニタリングのために使用されます。

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生産中止の薄膜製品のマニュアル

INFICON、Sigma Instruments、、Sycon Instruments、およびMaxtekの生産中止製品のマニュアルをダウンロードしてください。

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