Compatible Vacuum Gauges and Controllers

In this category you can find a wide selection of INFICON Vacuum Gauges to cover your vacuum measurement needs. INFICON is the original manufacturer of the following gauge families. The INFICON gauge product families can act as a 100 % drop in replacement for Oerlikon Leybold Vacuum transmitter product lines shown on the right hand: 

 

Measuring Principle                      

INFICON Type                 

Oerlikon Leybold Vacuum Type                  

Pirani Gauges

PSG500, PSG502

=

TTR 91 / TTR 96

Pirani Gauges advanced

PSG550 / PSG552 / PSG554

=

TTR 911 / TTR 916

Pirani Capacitive Diaphragm Gauges

PCG550 / PCG552 / PCG554

=

TTR 101

Bayard Alpert Hot Ion Pirani Gauges

BPG400 / BPG402

=

ITR 90 / ITR 200

Penning Gauges

PEG100

=

PTR 225 / PTR 237

Cold Cathode Gauges

MPG400 / MPG500

=

PTR 90

Active Gauge Controller

VGC501 / VGC502 / VGC503

=

CENTER ONE / CENTER TWO / CENTER THREE

Ambient Capacitive Gauges

CDG025D

=

CTR 100

45°C Capacitive Gauges

CDG045D

=

CTR 101

DI Sensors

DI 2000

=

DI 2000

Vacuum switches

VSC150A

=

PS 115

Vacuum switches

VSA100A

=

PS 113A

 

 

If you have any questions or would like to replace your currently installed Leybold Vacuum Transmitter, please do not hesitate to contact our INFICON customer Service.

 

Compatible Vacuum Gauges and Controllers

ピラニ標準ゲージ

最もコンパクトなピラニゲージ設計ながら、5 x 10-4 mbar から大気圧までの範囲で極めて信頼性の高い計測を実現



製品
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ピラニ標準ゲージ - 最先端シリーズ

5 x 10-4 mbar から大気圧までの真空測定に最適なフィールドバスオプションなどのさまざまな特長を備えたコンパクトなピラニゲージ製品

製品
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ピラニキャパシタンスダイアフラムゲージ

ピラニゲージとキャパシタンスダイアフラムゲージを組み合わせたもので、5 x 10-4 mbar から大気圧までの計測範囲に対応し、極めて高い精度で大気圧を検知します。

製品
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ペニング式冷陰極真空計

堅牢なペニング式冷陰極真空計は、1 x 10-2 mbarから 1 x 10-9 mbar までの高真空領域で信頼できる測定を提供します。 オプションでフィールドバスもご利用できます。



製品
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逆マグネトロンピラニゲージ

逆マグネトロンとピラニゲージの原理を組み合わせることにより、大気圧から 5 x 10-9 mbar までの高真空度を測定します

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新製品逆マグネトロンピラニゲージ

新製品Gemini逆マグネトロン真空計は、大気圧から 1x10 – 9 mbar までの計測が可能な、すべての真空計測用途向けの主力製品です(特許申請中)。

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ベヤード・アルパートピラニゲージ

超高真空から大気圧までの非常に広い測定領域の為のコンビネーションゲージテクノロジー

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真空計コントローラ

新型アクティブゲージ コントローラシリーズ VGC50x は 最高の技術加工測定の状態およびコントロールに設計され、単一、デュアルならびにトリプルチャンネルデバイスが利用可能です。広範囲な INFICON アクティブゲージに対応し、 10-10 ~ 1500 mbar (10-10 ~ 1125 Torr) の全体圧力範囲のモニタおよびデータログならびに設定値ステータスのモニタおよびデータログに最適です。

VGC40x シリーズ (製造中止) へ互換しています。



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Ambient キャパシタンスダイアフラムゲージ

温度補正、環境依存性なし

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45°C キャパシタンスダイアフラムゲージ

先例のないフルスケールに基づいた安定性を提供

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DI Sensors

Capacitive, linear pressure sensor

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真空スイッチ

能動電子スイッチ、受動メカニカルスイッチ、絶対圧力/差動圧力計測用スイッチ

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検査文書サービス

特定のニーズに対応した適切な検査書類

製品

サービスドキュメント

INFICONサービス部門との 情報交換をサポートする、 サービス取引用の INFICON ドキュメントテンプレート

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真空計および真空部品のカタログ/パンフレット

真空制御製品カタログおよび一般的な文書/パンフレットのダウンロード

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