Deposición de película delgada

Los controladores de deposición de película delgada, los monitores y los instrumentos de medición de QCM de INFICON líderes del mercado controlan el grosor y la velocidad de deposición de los procesos más complejos con una precisión y velocidad de medición insuperables. Las características lógicas de E/S y el software mejorado hacen posible la integración total de nuestros controladores de deposición de película delgada e instrumentos de medición de QCM en el sistema de vacío para un control de procesos automático. Para el control de procesos menos complejos, utilice los instrumentos de medición de QCM, los monitores y los controladores de precisión de INFICON, unos productos económicos que miden películas con una precisión 100 veces superior a la de las técnicas convencionales.

El sistema QCM típico incluye un cristal de cuarzo (el dispositivo sensor), un soporte para el cristal (sensor), que sostiene el cristal y proporciona las conexiones eléctricas al cristal, un oscilador (o XIU para instrumentos ModeLock), que impulsa el cristal, y un controlador o monitor, que lee la velocidad y el grosor de las deposiciones y almacena los parámetros de procesos. INFICON proporciona tanto sistemas completos de QCM como componentes individuales diseñados para aplicaciones de investigación.

Desde el proceso más sencillo hasta el más complejo, INFICON proporciona un valor superior.

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Controladores de deposición

Un controlador de deposición permite controlar la velocidad de su proceso de deposición mediante un sensor de QCM. Desde los productos más básicos hasta los productos con más variedad de funciones, INFICON ofrece controladores de deposición que satisfacen sus necesidades

EIES es una tecnología alternativa de supervisión de velocidad y grosor para ciertas aplicaciones o dispositivos en los que un QCM no es lo ideal.

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Monitores de deposición

Un monitor de deposición es similar a un controlador de deposición, pero más simple, por lo que resulta idóneo para aplicaciones que no precisan control de la velocidad ni sistemas complejos. Los monitores de deposición de INFICON ofrecen la fiabilidad y calidad líderes de la industria que espera de INFICON en un paquete simple y fácil de utilizar.

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Control de los cañones de electrones

INFICON, el líder mundial en tecnología QCM ahora ofrece dispositivos de control de los cañones de electrones, incluyendo controladores de barrido, indexadores de crisol, controladores de versiones así como fuentes de alimentación de alta tensión.

 

Se descontinuará el 31 de enero de 2018

 



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Sensores de cristal de cuarzo y pasos eléctricos

Un sensor aloja y refrigera el cristal de cuarzo, y permite también la conexión eléctrica entre el cristal y el paso eléctrico. Los sensores de INFICON están disponibles en una gran variedad de configuraciones, así como en combinaciones de sensor/paso eléctrico, ofreciendo una completa gama de soluciones personalizadas.

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Cristales de cuarzo de monitor para aplicaciones de vacío

El cristal de cuarzo es el elemento que mide la velocidad y el grosor en un sistema de microbalanza de cristal de cuarzo (QCM) .  Estos cristales se utilizan en aplicaciones de vacío con cualquier controlador o monitor de INFICON estándar y un sensor de INFICON (o de otra marca) de uno, dos o varios cristales. 

INFICON ofrece gran variedad de cristales y paquetes y puede proporcionarle los cristales que desee cuando más le convenga.

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Cristales de cuarzo de monitor para aplicaciones líquidas

El cristal estándar de 25,4 mm (1 pulgada) de diámetro y corte "AT" se utiliza principalmente en aplicaciones de investigación con los sistemas RQCM (microbalanza de cristal de cuarzo para investigación) y PLO-10i de INFICON.  Estos cristales para investigación están diseñados para su uso con los soportes de cristal resistentes y fáciles de utilizar de INFICON y se utilizan para la supervisión in situ de líquidos o películas depositados.

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Manuales de productos de película delgada que han dejado de fabricarse

Descargar manuales para productos de INFICON, Sigma Instruments y Maxtek que hayan dejado de fabricarse.

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