Monitor de concentración de gas Composer Elite

Alta sensibilidad para todos los gases precursores, incluido el Cp2Mg

El Monitor de concentración de gases Composer Elite Binary es un método simple y fiable de medir la composición de los gases binarios, incluido el Cp2Mg, en nitrógeno y otros materiales de presión de vapor baja. Composer Elite mide con precisión la proporción de gas portador y precursor, reduciendo así de forma efectiva la variabilidad del proceso y permitiendo un uso eficiente de los materiales precursores. Desarrollado por INFICON, líder en instrumentos de medición avanzados para la industria de semiconductores y otras industrias relacionadas, Composer Elite mide la proporción de una gran variedad de gases binarios. Su amplio rango de presiones operativas (de 200 a 1.000 Torr) y su alta sensibilidad lo convierten en una herramienta indispensable para las aplicaciones de semiconductores, como el MOCVD, tanto en entornos de producción como de I+D, así como para múltiples procesos industriales.

SENSIBILIDAD, FIABILIDAD Y PRECISIÓN SIN PRECEDENTES
Nuestra técnica de medición por resonancia permite una resolución de menos de 0,1 Hz, lo que equivale a 0,00011% de TMIn (trimetilindio) en H2. Esta resolución es 10 veces mejor que las técnicas acústicas de tiempo de vuelo. La técnica de medición de resonancia también se puede utilizar a presiones inferiores a los 200 Torr para procesos de presiones reducidas. Para aplicaciones que requieren reproducibilidad de procesos con mediciones precisas, Composer Elite se puede utilizar con una configuración de punto cero de fábrica. Cuando se requiere el nivel más alto de precisión posible, Composer Elite se puede calibrar fácilmente purgando la cámara del transductor con gas portador puro y pulsando el botón de referencia cero.

MIDE EL PRECURSOR DOPANTE Cp2Mg
Composer Elite es el único instrumento que permite controlar el precursor dopante Cp2Mg, bis(ciclopentadienil) magnesio, utilizado en los procesos de fabricación de LED. En combinación con la capacidad de controlar el resto de precursores en la fabricación de LED y HB-LED, Composer Elite ofrece a los fabricantes una mayor precisión y una reducción significativa del coste, lo que les permitiría reducir el precio de sus productos a los consumidores.

CONTROLA MEZCLAS DE GASES PARA GARANTIZAR UN USO EFICIENTE DE LAS MATERIAS PRIMAS
Composer Elite controla con precisión la composición de los gases mediante mediciones de la velocidad del sonido en mezclas de gases binarios. Como la cantidad de precursor en el burbujeador disminuye, Composer Elite mide este cambio en la eficiencia de detección del precursor. Esto permite al operador, o al equipo del sistema, alterar el flujo de gas a través del burbujeador para corregir la concentración según sea necesario. Con Composer Elite, las costosas materias primas se utilizan de forma eficiente, controlando los costes al mismo tiempo que se maximiza el tiempo de producción de la herramienta.

FÁCIL INTEGRACIÓN EN EL SISTEMA DE CONTROL
La comunicación de RS-232 y DeviceNet Client son funciones estándar, lo que permite a Composer Elite integrarse fácilmente en el sistema de control de un reactor mediante comunicaciones digitales.

CONTROLA LA ESTABILIDAD DEL FLUJO DEL GAS PORTADOR
El instrumento se puede utilizar para verificar si el flujo del gas portador es estable en todos los procesos que se ejecutan. El transductor es inherentemente estable y permite disfrutar de un nivel máximo de reproducibilidad.

VERIFICA QUE LAS LÍNEAS DE GAS ESTÉN COMPLETAMENTE PURGADAS
Composer Elite se puede utilizar para verificar que las líneas de gas estén completamente purgadas, garantizando así la integridad del gas suministrado a su proceso.

ALTA FIABILIDAD
El transductor acústico del Composer Elite es altamente fiable y no contiene piezas móviles. Esto garantiza años de funcionamiento sin necesidad de mantenimiento. Además, cada extremo de la celda acústica tiene un volumen de contención secundario único para garantizar que ningún gas del proceso se filtre al entorno.

Beneficios

  • Reducir variabilidad del proceso
  • Promover un uso de eficiencia de materiales precursores
  • Verificar purgas de líneas de gas

Características

  • Mide con precisión la proporción de gas precursor/portador
  • Verifica la estabilidad del suministro de precursor y dopante durante el crecimiento de la estructura y a lo largo del tiempo
  • Sensible a Cp2Mg y otros materiales de presión de vapor baja
  • Controla hasta cinco sensores con una unidad de control

Aplicaciones típicas

  • MOCVD

Especificaciones

Tipo Composer Elite
Rendimiento  
Rango de presión de funcionamiento 200 - 1000 Torr (27 - 133.3 kPa)
Potencia de sobreexposición de rutina Up to 1520 Torr (202.7 kPa)
Presión máxima de transductor 6200 Torr (826.6 kPa) Absolute. Pressure over 6200 Torr may damage transducer diaphragms.
Rango de flujo de gas Up to 2000 sccm
Rango de temperatura Up to 65°C (Acoustic sensor), temperature control is heat only, no active cooling.
Estabilidad de la temperatura Controlled to <0.01°C
Estabilidad de frecuencia Stable within 0.0045%
Sensibilidad 0.00011% of TMIn in H2
Reproducibilidad <3 x 10-6 molar TMIn equivalent
Construcción  
Cuerpo y conductos del sensor 316L Stainless Steel
Diafragmas de aislamiento Inconel® X-750
Entrada/Salida VCR-4 fittings
Velocidad de fuga <1 x 10-9 std. cm3/s He
Velocidad de medición 1 Hz
Volumen de barrido 8.9 cm3
Alimentación Required: 24 V (dc), 240 W

Optional: A 24 V (dc), 240 W power supply with universal AC input can optionally be purchased from INFICON

Número de referencia

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Accesorios

Composer Elite
Número de referencia Descripción
600-1447-P15 Cable de interconexión 4,6 m (15 pies) (entre la unidad de control del sensor y el sensor acústico)
782-900-007 Extensor de bastidor completo - Monta una unidad SQC-310 o Composer Elite en un bastidor de 48 cm (incluye obturación)
033-0056 Suministro de potencia de Composer Elite (no incluye el cable)
068-0433 Cable de suministro de corriente de 115 V (solo cable)
068-0434 Cable de suministro de corriente de 230 V, estilo europeo
600-1001-P15 Cable RS-232 macho/hembra de 4,6 m (15 pies)
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