Indicador de vacío de vacío medio a ultraelevado BAG402

El indicador de iones calientes Bayard-Alpert BAG402 de INFICON cubre una amplia gama de mediciones, desde 5×10-10 mbar hasta 2,7×10-2 mbar (desde 3,75×10-10 Torr hasta 5×10-2 Torr). Seleccione el dispositivo BPG402 de INFICON para llevar a cabo procesos repetibles y asequibles con el fin de realizar mediciones de la presión base en un paquete de indicador activo compacto. Sus filamentos duales exclusivos ofrecen gran precisión, estabilidad  y duración.

Beneficios

  • Gama de mediciones, desde 5×10-10 mbar hasta 2,7×10-2 mbar (desde 3,75×10-10 Torr hasta 5×10-2 Torr)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
  • La detección de la sobrepresión protege al filamento de un desgaste prematuro
  • Dos filamentos de larga duración de iridio con revestimiento de óxido de itrio
  • La selección de la corriente de emisión reduce la complejidad de control
  • Un elemento sensor con datos de calibración a bordo garantiza un gran nivel de reproducibilidad
  • Cumple con la directiva RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en el proceso de semiconductores y cámaras de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición general del vacío y control desde el bajo vacío hasta el ultra alto vacío
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

Especificaciones

Tipo BAG402
Rango de medida (aire, O2, CO, N2) 5×10-10 … 2.7×10-2
Precisión  
10-8 … 10-2 mbar % of reading ±15
Repetibilidad  
10-8 … 10-2 mbar % of reading 5
Degas (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
Presión, máx. bar (absolute) 2
Temperatura  
Funcionamiento (ambiente) °C 0 … +50
Almacenamiento °C -20 … +70
Horneado en la brida sin electrónica BPG402-S °C 80
Tensión de alimentación +20 … +28
Señal de salida analógica (4)  
Señal de salida V 0 … +10
Rango de medidas log / lin V 0 … +9
Tensión frente a presión volts per decade 1
Señal de error V > +10
Impedancia de carga, mín. kΩ 10
Salida analógica secundaria none
Relé de punto de referencia  
Número de puntos de referencia none
Rango  
Contacto de relé  
Histéresis  
Capacidad del contacto  
Funciones digitales degas and emission
Interfaz (digital) (2) Diagnosis port
Control de emisiones manual
Filamento two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
Estado / relé del filamento LED / relay
Conexión eléctrica D-Sub, 9-pin, male
Longitud del cable, máx. m (ft.) 100 (330)
Materiales expuestos al vacío Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Volumen interno KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
Peso KF / CF g 450 / 710
Grado de protección IP30

(1) Precisión reducida durante la desgasificación

(2) Uso simultáneo del bus de campo y de los controladores de las series RS232C o VGC40x no permitido

Número de referencia

BAG402
Número de referencia Descripción
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

Accesorios

BAG402
Número de referencia Descripción
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

Piezas de repuesto

BAG402
Número de referencia Descripción
354-484 Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 Repuesto cabezal del sensor BAG402 DN 40 CF-R
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