Indicador de atmósfera a medio vacío PSG5xx

 

Los calibres estándar Pirani de INFICON, PSG500, PSG502-S, PSG510-S y PSG512-S, emplean la tecnología más avanzada digital Pirani disponible en el mercado. La célula de acero inoxidable resistente y el diseño compacto los cualifican para el uso en sistemas de semiconductor y para aplicaciones estándar, tales como las líneas de vacío frontales.

Beneficios

  • Pulsador fácil ATM y ajuste HV
  • Diseño sólido de ahorro de espacio
  • Alojamiento de aluminio
  • Montaje en cualquier orientación
  • Célula de medición de acero inoxidable con terminales de paso sellados de metal
  • Señal de salida logarítmica para una fácil integración
  • 10 bar de sobrepresión absoluta con conexiones roscadas
  • 250 °C, versión horneable
  • Opción de filamento de níquel para aplicaciones corrosivas
  • Terminal de paso de cerámica para aplicaciones altamente corrosivas (PSG510 & PSG512)
  • Puntos de ajuste opcionales
  • Conformidad RoHS

Aplicaciones típicas

  • Controlar los calibres de ionización de alto vacío
  • Control de presión de vacío frontal
  • Sistemas de seguridad en sistemas de seguridad
  • Medición de vacío general y control en el rango de vacío alto y áspero
  • tiba29e1 Massbild.gif

Especificaciones

Tipo PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Principio de medición thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
Precisión(N2)          
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 … 1000 mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
Repetibilidad (aire)          
1 x 10-3 … 100 mbar % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
Señal de salida (señal de medición)          
Rango de tensión V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
Rango de medición V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
Rango de medición (aire, 02, CO, N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
Punto de ajuste          
Número de puntos de ajuste none 2 2 2 2
Rango de ajuste mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
Histéresis % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
Contacto de relé 30 30 30 30
Contacto de relé: Tiempo de conmutación ms <20 <20 <20 <20
Tensión de alimentación          
En el calibre V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
Ondulación V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Tensión contra presión logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
Volumen interno          
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF y DN tubo largo 16 CF-R cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8'' NPT , 4 VCR, 8 VCR, 1/2'' tubo cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
Temperatura admisible          
Funcionamiento °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
Conexión de vacío (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
Almacenamiento °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
Peso          
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8'' NPT, tubo 1/2'' g 70 70 70 70 70
8 VCR, DN 16 tubo largo ISO-KF g 130 130 130 130 130
DN 16 tubo largo CF-R g 140 140 140 140 140
Señal de error V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
Impedancia de salida 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
Impedancia cargada mínima kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
Tiempo de respuesta ms 80 80 80 80 80
Identificación de calibre kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
Ajuste one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
Consumo de corriente mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
Consumo de potencia W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Conexión eléctrica FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
Cable sensor 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
Longitud de cable m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
Materiales expuestos al vacío glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Filamento W W Ni W Ni
Presión admisible bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
Orientación de montaje any any any any any
Grado de protección IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

(1) En orientación de montaje horizontal

(2) Tubo largo

Número de referencia

PSG500 tungsten
Número de referencia Descripción
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2")
350-065 PSG500 4-VCR (1/4")
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
PSG500-S tungsten, setpoints
Número de referencia Descripción
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG502-S nickel, setpoints
Número de referencia Descripción
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

Accesorios

PSG500 tungsten
Número de referencia Descripción
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
Número de referencia Descripción
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
Número de referencia Descripción
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
211-001 Clamping ring DN 10-16 ISO-KF

Piezas de repuesto

PSG500 tungsten
Número de referencia Descripción
350-920 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
Número de referencia Descripción
350-920 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
Número de referencia Descripción
350-900 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901 PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903 PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904 PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905 PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906 PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
350-930 PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Número de referencia Descripción
350-940 PSG512 Spare Sensor DN 16 KF
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