Dünnschichtabscheidung und Steuerung von Elektronenstrahlkanonen

Mit den marktführenden Dünnschichtabscheidungs-Controllern, -Monitoren und QCM-Messinstrumenten von INFICON kann in sehr komplexen Prozessen mit unübertroffener Messgeschwindigkeit und -genauigkeit die Abscheidungsrate und -dicke gesteuert werden. Dank der erweiterten Software und der umfangreichen logischen I/O-Funktionen können unsere Dünnschichtabscheidungs-Controller/QCM-Messinstrumente vollständig in das Vakuumsystem integriert werden und gewährleisten so eine automatische Prozesssteuerung. Zur Steuerung weniger komplexer Prozesse können Sie INFICONs wirtschaftliche Präzisionscontroller, Monitore und QCM-Messgeräte verwenden, die Filme 100-mal präziser vermessen können als dies mit konventionellen Methoden möglich ist. Ein typisches QCM-System umfasst einen Quarzkristall, der das Messelement bildet, einen Kristallhalter (Sensor), der den Kristall beherbergt und die elektrische Verbindung zum Kristall herstellt, einen Oszillator (oder XIU für ModeLock-Geräte) zur Anregung des Kristalls und einen Controller oder Monitor, der die Abscheidungsrate und -dicke liest und die Prozessparameter speichert. INFICON bietet vollständige QCM-Systeme sowie einzelne Komponenten, die speziell für Forschungsanwendungen vorgesehen sind. Vom einfachsten bis zum kompliziertesten Verfahren, INFICON bietet stets hervorragenden Mehrwert.

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Abscheidungscontroller

Mithilfe eines Sweep-Controllers lässt sich die Abscheidungsrate Ihres Abscheidungsprozesses unter Verwendung eines QCM-Sensors steuern. INFICON bietet Sweep-Controller für alle Anwendungsbedürfnisse – von einfachen bis hin zu extrem funktionsstarken Modellen.

EIES ist eine alternative Methode zur Überwachung der Abscheidungsrate und Dicke in bestimmten Anwendungen, für die QCM weniger vorteilhaft ist.

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Abscheidungsmonitore

Ein Abscheidungsmonitor ist einem Abscheidungscontroller ähnlich, jedoch einfacher für Anwendungen, die keine Steuerung der Abscheidungsrate oder eine komplexe Systemintegration erfordern. INFICONs Abscheidungsmonitore bieten gewohnt zuverlässige und branchenführende Qualität in einer einfachen, bedienerfreundlichen Einheit.

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Steuerung für Elektronenstrahlkanonen

INFICON, weltweit führend im Bereich QCM-Technologie, bietet jetzt Steuergeräte für Elektronenstrahlkanonen, einschließlich Sweep-Controller, Tiegel-Indexer, Source-Controller und Hochspannungsnetzgeräte.

 

Wird am 31. Januar 2018 eingestellt

 



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Quarzkristallsensoren und Durchführungen

Ein Sensor dient zur Aufnahme und Kühlung des Quarzkristalls und zur Herstellung der elektrischen Verbindung zwischen Kristall und Durchführung. INFICON-Sensoren sind in einem breiten Konfigurationsspektrum lieferbar und für kundenspezifische Komplettlösungen bieten wir auch Kombinationen von Sensoren und Durchführungen an.

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Quarzmonitorkristalle für Vakuumanwendungen

Der Quarzkristall ist das Raten- und Dickenmesselement in einem QCM(Quartz Crystal Microbalance)-System. Diese Kristalle sind für Vakuumanwendungen mit allen standardmäßigen Monitoren und Controllern von INFICON und mit Ein-, Zwei- oder Mehrkristallsensoren von INFICON (oder anderen Herstellern) bestimmt.

Unser Angebot umfasst eine Vielzahl von Kristallen und Verpackungsoptionen und INFICON kann die benötigten Kristalle termingerecht liefern.

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Quarzmonitorkristalle für Flüssigkeitsanwendungen

Der standardmäßige AT-CUT Quarz von 25,4 mm (1 Zoll) Durchmesser wird hauptsächlich in Forschungsanwendungen in Verbindung mit den INFICON Systemen RQCM (Research Quartz Crystal Microbalance) und PLO-10i verwendet. Diese Forschungsquarze sind zur Verwendung mit INFICONs robusten, bequem handhabbaren Quarzhaltern bestimmt und werden zur In-situ-Überwachung von abgeschiedenen Schichtstrukturen oder Flüssigkeiten eingesetzt.

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Betriebsanleitungen abgekündigter Dünnschichtprodukte

Handbücher für abgekündigte Produkte von INFICON, Sigma Instruments, Sycon Instruments und Maxtek herunterladen.

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