Weitbereich Vakuum Messgeräte

Weitbereich-Vakuummessgeräte von INFICON bieten hervorragende Präzision und Zuverlässigkeit in Kompaktbauweise. Der gesamte Bereich vom Ultrahochvakuum bis zum Atmosphärendruck wird durch vier Technologien mit unterschiedlichen physikalischen Messprinzipien abgedeckt.

Die INFICON Pirani-Technologie ermöglicht kosteneffektive Messungen im unteren und mittleren Vakuumbereich. INFICONs miniaturisierte Kapazitätsmembrantechnologie ist für hochgenaue Messungen im unteren Vakuumbereich geeignet, während der Ultra- und Hochvakuumbereich durch Heiß- und Kaltionisierungsmessröhren abgedeckt wird.

Jede Messtechnik ist als unabhängiger Sensor oder in Verbindung mit komplementären Messtechniken erhältlich, um ein optimales Preis-Leistungs-Verhältnis über den gesamten Vakuumbereich zu erzielen.

 

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - advanced series

All-in-One Convection enhanced Pirani Gauge for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere.

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NEW Convection Enhanced Pirani Gauges - standard series

The PGE300 Convection enhanced Pirani Gauge offers the same sensor technology like PGE500 to yield same accuracy readings in the measurement range between 100 to 1000 mbar. It offers the most critical built in features to minimize cost.

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NEW Convection Gauge Enhanced Pirani Gauges - passive

The Convection enhanced Pirani Gauge PGE050 for higher accuracy between 100 mbar and atmosphere is intended for use as gauge sensor in the classic "Passive Gauge - Controller combination". Our Passive Gauge Controller VGC031 and VGC083 are the counterparts of choice.

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NEW Vacuum Gauge Controller - for passive gauge series PGE050

The INFICON Vacuum Gauge Controller 031 (VGC031) is designed for use in conjunction with the INFICON Convection Enhanced Pirani Gauge PGE050.

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NEW Bayard Alpert Vacuum Gauge Heads - Passive

The INFICON Bayard-Alpert passive vacuum gauge heads BAG050, BAG051, BAG052 and BAG053 are designed for use with the INFICON Vacuum Gauge Controller VGC083A & VGC083B.



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NEW Bayard Alpert Hot Ion Gauge - standard

For applications that require a stand alone hot ion gauge, INFICON offers the single Technology Bayard Alpert Hot Ion Gauge with its NEW highly economical standard double filament solution.

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NEUE Bayard-Alpert-Messröhren

Für Anwendungen, die eigenständige Heißionisierungsmesstechnik erfordern, bietet INFICON die Einzeltechnologie der Bayard-Alpert-Heißionisierungsmessröhre.

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Bayard-Alpert Pirani Messgeräte

Kombinationsmessgeräte-Technologie für extrem weite Messbereichsabdeckung von Ultrahochvakuum bis Atmosphäre

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High-Pressure Heißionisations-Pirani-Messgeräte

Höchste Wiederholbarkeit und reproduzierbare Messungen für genaue Sputter-Prozessdruckkontrolle im Bereich von 2 x 10-6 mbar bis Atmosphäre.



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Bayard-Alpert Pirani-Kapazitätsmembran-Messgeräte - Triple Gauge™

Kombinationsmessgeräte-Technologie - Drei Messgeräte in einer Einheit zur genauen Messung des Prozess- und Basisdrucks von UHV bis 1500 mbar

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NEUE Invertierte Magnetron-Pirani Messgeräte

Das neue invertierte Magnetron Vakuum Messgerät Gemini™ ist das Arbeitspferd für alle Vakuummessapplikationen im Bereich von Atmosphäre bis 1x10 – 9 mbar.

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Invertierte Magnetron-Pirani Messgeräte

Die Kombination aus invertiertem Magnetron und Pirani-Messprinzip ermöglicht Druckmessungen von Atmosphäre bis in den Hochvakuumbereich von 5 x 10-9 mbar.

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Penning-Kaltkathoden-Messgeräte

Das robuste Penning-Kaltkathodenmessgerät bietet zuverlässige Hochvakuummessungen von 1 x 10-2 mbar bis in den Hochvakuumbereich von bis zu 1 x 10-9 mbar. Verschiedende Feldbusoptionen sind verfügbar.



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Pirani-Standard-Messgeräte

Das äußerst kompakte Pirani-Messgerät bietet sehr zuverlässige Messungen im Bereich von 5 x 10-4 mbar bis Atmosphäre.



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Pirani- Standard-Messgeräte – mit erweiterten Optionen

Die kompakte Pirani-Messgeräte-Serie mit großer Auswahl an Optionen, inklusive verschiedener Feldbusvarianten , bietet jederzeit das richtige Produkt für die kundenspezifische Vakuummessung innerhalb des Bereichs von 5 x 10-4 mbar bis Atmosphäre

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Pirani-Kapazitätsmembran-Messgeräte

Kombination aus Pirani- und Kapazitätsmembran-Messgerät zur Abdeckung des Messbereichs von 5 x 10-4 mbar bis Atmosphäre mit besonders hoher Genauigkeit im atmosphärnahen Druckbereich

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Kalibrierdienst für Vakuummessgeräte

Werks- oder DAkks-Kalibrierung für Vakuummessgeräte

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Prüfzertifikat Service

Das richtige Prüfzertifikat für Ihren individuellen Bedarf

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Servicedokumente

INFICON-Dokumentvorlagen für Servicetransaktionen, die den Informationsaustausch mit INFICONs Wartungsabteilung unterstützen

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