Gaskonzentrationsmonitor

Ein Gaskonzentrationsmonitor bietet eine einfache und zuverlässige Möglichkeit zur Bestimmung der Zusammensetzung von binären Gasgemischen.  Korrekt ausgeführt kann die exakte Bestimmung des Verhältnisses von Precursor zu Trägergas die Prozessvariabilität wirksam reduzieren und die effiziente Nutzung der Precursormaterialien fördern.  Mit seinem breiten Betriebsdruckbereich (200 bis 1000 Torr) und seiner hohen Empfindlichkeit ist er ein unentbehrliches Werkzeug bei Halbleiteranwendungen, einschließlich MOCVD, sowohl in Forschung und Entwicklung als auch in der Produktion und in zahlreichen Industrieprozessen.

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Konzentrationsmonitor für binäre Gasgemische

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